洁净室洁净度影响因素详解.ppt

室内含尘浓度影响参数 室内含尘浓度计算模型 洁净室洁净度计算公式： ? 修正系数： ? Ev --- 通风效能 (Ventilation Effectiveness)，即总风量为Q时，EvQ的空气参与了稀释作用，（1-Ev）Q的空气由于“短路”而直接流出了室外。 Ec --- 污染排替效率, 即散放到房间的污染物为G时，（1-Ec）G的污染物被混合稀释, EcG的污染物被直接流出室外。 ηr ---- 回风通路上的各级过滤器总效率1-（1-ηr1）（1-ηr2）…（1-ηrn） ηf ---- 新风通路上的各级过滤器总效率1-（1-ηf1）（1-ηf2）…（1-ηfn） 室内含尘浓度计算模型 对单向流洁净室，所有灰尘被直接排出室外，Ec=1，此时： 对非单向流洁净室，如果所有灰尘被稀释，Ec=0，此时： 如果所有送风参与混合稀释，即Ev=1，则k=1。 室内含尘浓度计算模型 非单向流 - 各种因素对洁净度的影响大小 洁净室洁净度： ?  在高效过滤器效率足够的前提下（H13) 洁净度的好坏还取决于: 1）房间的发尘量G；(人员、设备） 2）送风量Q 3) 气流组织的优劣Ev (风口设计、布局、出口风速、回风口布局、风速等） 4) 人员、设备的布局(Ec)。 ≈1 ≈1 选择恰当的末端过滤器: ISO14644-1 209D 209E HEPA ISO6 1000 M4.5 H12-H13 ISO7 10000 M5.5 H11-H13 ISO8 100000 M6.5 H11 --- 300000 M7 H10-H11 MAU的过滤器等级不影响洁净度, 但大大影响HEPA寿命! 单向流 - 各种因素对洁净度的影响大小 1）送风气流的均匀度严重影响洁净度 2 )对于等级越高的洁净室, 对送风均匀性的要求越高. 3) 当送风均匀度很差时, 通过提高风速收效甚微，只可能通过提高末端过滤器效率等级来弥补, 但对ISO1-2级的超净室也是很困难的. (这是目前存在的普遍问题，）用户忽略了一个事实 “采用高均匀度的优质过滤器可以降低过滤器的使用等级，并可以节省初投资和运行费用”。 面风速(换气次数)的设计不是根据洁净度, 是根据干绕气流的强弱. 在足够面风速的前提下（0.3m/s) ISO14644-1 209D 209E HEPA ISO1 NA NA U17 ISO2 NA NA U16 ISO3 1 M1.5 U15-U16 ISO4 10 M2.5 H14-U15 末端过滤器的效率大大影响洁净度; MAU的过滤器等级不影响洁净度, 但大大影响HEPA寿命! 采用主动方式来使空气中悬浮粒子浓度受控的房间。 此房间的建造和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留污染物； 并按照具体要求对室内的其它相关参数如温度、湿度、压力、照明、振动、气流进行控制。 洁净室 世界上第一个洁净室的雏形 （1855年）： 第一次采用机械通新风方式来降低室内的病菌浓度 （Florence Nightingale) 但直到二战时才明确被倡导使用。 二战后的50年代末期，核能的和平利用使得世界上第一台HEPA过滤器问世。（99.97% @ 0.3um DOP) 1950年，第一个HEPA过滤器测试标准MIL-282颁布； 1961年，美国的Sandia 实验室（军方NASA资助）第一次提出了“层流”和“乱流”洁净室的概念。并于1963年12月制定了第一个洁净度标准Fed 209. （航天计划的要求和促进) 209 – 209B – 209C – 209D – 209E（1992） – ISO14644 （1999） 洁净室的四项基本原则 1、防止进尘（HEPA/ULPA, 正压，人物净化措施等） 2、防止积尘 （易于清扫，经常定期清扫等） 3、防止产尘 （采用少/不发尘的材料设施，工作人员的防护和规范操作，提高工艺的机械自动化程度） 4、快速有效地排尘。（气流流型、工艺和人员操作布局等） 防止进尘 防止进尘 防止积尘 防止积尘 防止产尘 防止产尘 快速有效地排尘 快速有效地排尘 三种基本的洁净室系统型式 按照气流流型和系统设计方式： 1）非单向流 （以前也称“乱流”） 2）单向流 （以前也称“层流”） 3）混合流 （1 + 2的组合） 非单向流 通过采用洁净空气稀释房间内的污染物来达到所需的洁净度； 洁净度：CL-1K 以上 换气次数一般不超过80次/h. 非单向流 通过采用洁净空气稀释房间内的污染物来达到所需的洁净度。 洁净度：CL-1K 以上 主要影响因素？ 1）送风量 – 换气次数 2）过滤器效率 3） 送风的气流组织-有效稀释 4