《cv原理及其应用》重点.pptVIP

SSM495 CV 的原理及应用 2013.5.21 汞-肖特基二极管 CV 1.汞-肖特基二极管 C-V 1.1汞-肖特基二极管 C-V的应用 1.2汞-肖特基二极管 C-V的原理 1.3汞-肖特基二极管 质量判定 1.4 ASTM（美国材料试验协会）表面处理 1.5 测试系统的校准 1.6汞-肖特基二极管的局限和SPC 1.1汞-肖特基二极管 C-V的应用 快速呈现外延层的电阻率分布 非破坏性测试 n型电阻率测试范围：0.1 -100Ω.cm；p型电阻率测试范围：0.24 -330 Ω.cm 1.2汞-肖特基二极管 C-V原理 1.2.1 肖特基测试模型 p型测试电压为：+；n型测试电压为：- 在半导体表面接触金属便形成一个简单的肖特基二极管 在金属层下面形成的耗尽区就可以充当一个电容 1.2汞-肖特基二极管 C-V原理 1.2.1 肖特基二极管内部电势变化 1.2汞-肖特基二极管 C-V原理 1.2.1 肖特基电容的形成 A : 金属-半导体接触面积 Ks: 半导体介电常数 : 真空绝对介电常数 W : 耗尽区宽度 V ↑,W ↑,C↓ 1.2汞-肖特基二极管 C-V原理 1.2.2 肖特基二极管C-V曲线（p型） 电阻率纵向均匀分布的曲线（外延层） 电阻率纵向分布不均的曲线 1.2汞-肖特基二极管 C-V原理 1.2.3 电阻率计