【实验一】扫描探针显微镜(SPM)分析.pptVIP

分析测试中心 扫描探针(spm)显微镜 胡海龙 扫描隧道显微镜（STM） 扫描隧道显微镜（STM）特点 优点：1.目前分辨率最高的显微镜 2.可通过对扫描隧道谱的分析得到样品 表面的局域电子态密度在能量空间上的分布信息。 缺点：只能在导电物体表面上测量 原子力显微镜（AFM）特点 优点：1.可测量导体、绝缘体的表面形貌 2.所得样品形貌清晰 3.控制针尖对样品的压力和样品的形变获得力学曲线，研究样品表面的力学特性 4.利用针尖与样品的横向形变大小，研究样品表面的摩擦特性 缺点：1.对样品表面损害较大 2.不适合扫描表面柔软的样品。 动态力显微镜（DFM)特点 优点：1.对样品表面伤害较小 2.适合扫描表面柔软的样品 扫描探针显微镜（SPM）的应用 3维形貌表征 表面形貌剖面分析（高度和宽度） 表面分析（粗糙度：Ra平均粗糙度，RMS均方根粗糙度） 薄膜厚度测量 表面粗糙度（RMS均方根粗糙度） 思考题 1. 扫描探针显微镜主要由哪五个部分组成,叙述扫描探针显微镜的工作原理。 2. SEM、TEM、SPM在样品形貌分析方面有何异同之处。 3. 光杠杆式原子力显微镜探测针尖与样品表面的接触力的原理是什么? 4. STM、AFM及DFM各自的特点。 5 扫描探针对样品的表面有什么要求