传感器与检测技术第三章详解.pptVIP

第一节 测力传感器 第二节 扭矩力传感器 第三节 压力传感器 用于测量力的传感器多为电气式。电气式测力传感器，根据转换方式不同又分为参量型和发电型两种。 参量型测力传感器有电阻应变式、电容式、电感式等。 发电型测力传感器有压电式、压磁式等。 1.电阻应变式测力传感器工作原理 柱型弹性元件 柱型弹性元件有圆柱形、圆筒形和方柱形等几种。 柱型弹性元件 柱型弹性元件 薄壁环型弹性元件 薄壁环型弹性元件 薄壁环型弹性元件 薄壁环型弹性元件 柱型 弹性元件的尺寸和材料确定后，弹性元件在外力作用下所产生的应变与外力成正比 应变片是非电量电测中一种常见的转换元件。由于应变片使用简便，测量精度高，体积小，动态响应好，因而得到广泛应用。 (1)工作原理 (1)工作原理 (1)工作原理 (1)工作原理 (1)工作原理 (1)工作原理 (1)工作原理 (2)电阻应变片 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 金属电阻应变片:丝式、箔式、薄膜式 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 金属电阻应变片:丝式、箔式、薄膜式 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 金属电阻应变片:丝式、箔式、薄膜式 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 金属电阻应变片:丝式、箔式、薄膜式 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 金属电阻应变片:丝式、箔式、薄膜式 半导体应变片的工作原理是基于压阻效应。 压阻效应是指固体受到应力作用时，其电阻率发生变化，这种现象称为压阻效应。 半导体应变片的应变灵敏系数比电阻应变片大(50～30倍)，因而适用于需要大信号输出的场合。 半导体应变片横向效应小，其横向灵敏度几乎为零；机械滞后小，可制成小型和超小型片子，这对测量局部应变很有用。 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 金属丝的作用是感受机械试件的应变变化，称它为敏感栅。电阻应变片的电阻值为60Ω、120Ω、200Ω等多种规格，以120Ω最为常用。 应变片栅长大小关系到所测应变的准确度，应变片测得的应变大小是应变片栅长和栅宽所在面积内的平均轴向应变量。 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 对金属丝的要求 1）具有较高的电阻系数 2）具有尽可能大的电阻 应变灵敏度系数，而且要求电阻应变灵敏度系数在尽可能 大的应变范围内保持为常数。 3）具有较小的温度系数 4）具有较高的弹性极限，以便得到较宽的测量范围 5）良好的加工性和焊接性 6）对铜的热电动势要小 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 基片（基底）用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，覆盖层既保持敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 引线是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。 对引线材料的性能要求：电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。 大多数敏感栅材料都可制作引线。 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 用于将敏感栅固定于基片 上，并将盖片与基片粘贴 在一起。使用金属应变片 时，也需用粘结剂将应变 片基片粘贴在构件表面某 个方向和位置上。以便将 构件受力后的表面应变传递给应变计的基片和敏感栅。 常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂，聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温，常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。 粘结剂 利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003~0.010mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。 其优点： 1）金属箔很薄 2）箔式敏感栅表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。 金属箔式应变片 箔式应变片 金属箔式应变片 金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。 这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 半导体应变片 K——半导体应变片的应变灵敏系数 一、电阻应变式测力传感器 3. 应变片 半导体应变片 * 第三章 力、扭矩和压力传感器 第一节 测力传感器 电阻应变式测力传感器是将力作用在弹性元件上，弹性元件在力作用下产生应变。 利用贴在弹性元件上的应变片将应变转换成电阻的变化。 利用电桥将电阻变化转换成电压(或电流)的变化，再送人测量放大电路测量。 利用标定的电压(或电流)和力之