材料测试课件(研究生)8教案.pptVIP

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8.3.2 焦长 焦长是指物点固定不变(物距不变),在保持成像清晰的条件下,像平面沿透镜轴线可移动的距离。 8.3 电磁透镜的景深与焦长 第八章 电子光学基础 引言 光学显微镜的发明为人类认识微观世界提供了重要的工具。随着科学技术的发展,光学显微镜因其有限的分辨本领而难以满足许多微观分析的需求。 光学显微镜和电子显微镜的基本光学原理是相似的,它们之间的区别仅在于所使用的照明源和聚焦成像的方法不同,前者是可见光照明,用玻璃透镜聚焦成像,后者用电子束照明,用一定形状的静电场或磁场聚焦成像。 上世纪30年代后,电子显微镜的发明将分辨本领提高到纳米量级,同时也将显微镜的功能由单一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等于一体。人类认识微观世界的能力从此有了长足的发展。 本章的主要内容 8.1 电子波与电磁透镜 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 8.1.2 电子波的波长 8.1.3 电子透镜 8.2 电磁透镜的像差与分辨率 8.2.1 像差 8.2.2 分辨率 8.3 电磁透镜的景深与焦长 8.3.1 景深 8.3.2 焦长 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 由于光波的波动性,使得由透镜各部分折射到像平面上的像点及其周围区域的光波发生相互干涉作用,产生衍射效应。 一个理想的物点,经过透镜成像时,由于衍射效应,在像平面上形成的不再是一个像点,而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环所构成的Airy斑。 8.1 电子波与电磁透镜 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 测量结果表明Airy斑的强度大约84%集中在中心亮斑上,其余分布在周围的亮环上。 由于周围亮环的强度比较低,一般肉眼不易分辨,只能看到中心亮斑。因此通常以Airy斑的第一暗环的半径来衡量其大小。 根据衍射理论推导,点光源通过透镜产生的Airy斑半径R0的表达式为: 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时,物平面上相应的两个物点间距(Δr0)定义为透镜能分辨的最小间距,即透镜分辨率(也称分辨本领)。得: 对于光学透镜,当n?sinα做到最大时(n≈1.5,α≈70-75°),上式简化为: 即: 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的波长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最短波长是390nm,也就是说光学显微镜的最高分辨率是≈200nm; 一般地人眼的分辨本领是大约0.2mm,光学显微镜的最大分辨率大约是0.2μm。把0.2μm放大到0.2mm让人眼能分辨的放大倍数是1000倍。这个放大倍数称之为有效放大倍数。光学显微镜的分辨率在0.2μm时,其有效放大倍数是1000倍; 光学显微镜的放大倍数可以做的更高,但是,高出的部分对提高分辨率没有贡献,仅仅是让人眼观察更舒服而已。所以光学显微镜的放大倍数一般最高在1000-1500之间。 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 高能辐射区 γ射线 能量最高,来源于核能级跃迁 χ射线 来自内层电子能级的跃迁 光学光谱区 紫外光 来自原子和分子外层电子能级的跃迁 可见光 红外光 来自分子振动和转动能级的跃迁 波谱区 微波 来自分子转动能级及电子自旋能级跃迁 无线电波 来自原子核自旋能级的跃迁 电磁波谱:电磁辐射按波长顺序排列,称~。 γ射线→ X 射线→紫外光→可见光→红外光→微波→无线电波 波长 长 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 要想提高显微镜的分辨率,关键是降低照明光源的波长; 顺着电磁波谱朝短波长方向寻找,紫外光的波长在13-390nm之间,比可见光短多了。但是大多数物质都强烈地吸收紫外光,因此紫外光难以作为照明光源; 更短的波长是X射线。但是,迄今为止还没有找到能使X射线改变方向、发生折射和聚焦成像的物质,也就是说还没有X射线的透镜存在,因此X射线也不能作为显微镜的照明光源; 除了电磁波谱外,在物质波中,电子波不仅具有短波长,而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波可以作为照明光源,由此形成电子显微镜。 8.1.1 光学显微镜的分辨率极限 8.1.2 电子波的波长 根据德布罗意(de Broglie)的观点,运动的电子除了具有粒子性外,

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