严乐焱 激光原理.docVIP

激光干涉测量方法 光源的结构和输出特性 1.光源的结构 激光光源是利用激发态粒子在受激辐射作用下发光的电光源。是一种相干光源。自从1960年美国的T.H.梅曼制成红宝石激光器以来，各类激光光源的品种已达数百种，输出波长范围从短波紫外直到远红外。激光光源可按其工作物质(也称激活物质)分为固体激光源（晶体和钕玻璃）、气体激光源（包括原子、离子、分子、准分子）、液体激光源（包括有机染料、无机液体、螯合物）和半导体激光源4种类型。 激光光源由工作物质、泵浦激励源和谐振腔 3部分组成。工作物质中的粒子（分子、原子或离子）在泵浦激励源的作用下，被激励到高能级的激发态，造成高能级激发态上的粒子数多于低能级激发态上的粒子数，即形成粒子数反转。粒子从高能级跃迁到低能级时，就产生光子，如果光子在谐振腔反射镜的作用下，返回到工作物质而诱发出同样性质的跃迁，则产生同频率、同方向、同相位的辐射。如此靠谐振腔的反馈放大循环下去，往返振荡，辐射不断增强，最终即形成强大的激光束输出。 激光光源具有下列特点：①单色性好。激光的颜色很纯,其单色性比普通光源的光高1010倍以上。因此，激光光源是一种优良的相干光源，可广泛用于光通信。②方向性强。激光束的发散立体角很小,为毫弧度量级,比普通光或微波的发散角小2～3数量级。③光亮度高。激光焦点处的辐射亮度比普通光高108～1010倍。  激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 1） 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 2） 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 3） 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米 4） 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性 5） 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 6） 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间 7） 激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。 8） 激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。 9） 激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。 激光输出可被视为正弦光波 D，条纹数目为m，长度D两端对应的厚度分别为h1和h2，有 则平板玻璃的平行度为 测量不确定度 根据间接测量不确定度的传递公式，可知 由上式可见，在的测量中引起误差的主要因素是： ①宽度D的测量不确定度； ②干涉条纹数m计数的不确定度－影响最大； ③折射率n的测量不确定度。 激光斐索型平面干涉仪测量平板玻璃平行度的不准确 2.球面干涉仪 注意： 为了获得需要的干涉条纹，必须仔细调整被测球面，使被测球面的球心C与C0精确重合。 3.总结 （1） 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 2） 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 3） 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米 4） 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性 5） 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 6） 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间 7） 激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。 8） 激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。 9） 激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。 5D/6D标准型： 1） 线性：0.5ppm . 2） 测量范围：40米（1D可选80米） 3） 线性分辨力：0.001um. 4） 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 5） 最大范围：800角秒 6） 滚动角精度：1.0角秒 7） 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 8） 直线度最大范围：500um 9） 垂直度精度：1角秒 10）温度精度：0.2摄氏度 11）湿度精度：5% 12）压力精度：1mmHg 的相对精度，其精度同伸缩仪相当。并且同伸缩仪相比，激光干涉仪有着可以溯源这样一个巨大的优势。因此，运用激光干涉仪系统进行地壳应变测量已成为地学科研的重点。 同样，激光干涉仪还被运用到绝对重力仪中。绝对重力测量就是直接