微机电系统(MEMS)教案分析.pptVIP

MEMS一种微夹持系统的研制 讲述者 : 于冲 学 号 :专 业 : 精密仪器与机械 chyu739@126.com 概述 介绍一种半自动微夹持系统，其由一个微夹持器和一个X，Y，Z轴定位系统组成。该微夹持器包含两个一自由度的手指，由非晶、软磁材料制成，并由电磁驱动。该微夹持器通过一个手动调节的不锈钢支架和三自由度定位系统相连。其位置经光学检测，由具有易读特点和位置连续跟踪功能的数字量仪指出。系统所有轴都是由步进电机驱动，操纵中能实现微粒的精确定位。最后，该微夹持系统在大气条件下借助光学显微镜进行了“取放” 实验。夹持力经评估为良好。 Shanghai University Shanghai University 目录 5. 思考 4. 结论与展望 3. 实验 2. 微夹持器与定位系统 1. 引言与总体结构 Shanghai University 1. 引言与总体结构 微、小型系统中操持、装配和检测等领域都要涉及微小型元件的操持，然而由于微、小型系统本身的特点，微小型元件的有效操持成了MEMS领域最具挑战性的任务之一，也成了制约MEMS发展及应用的关键技术之一。近年来，随着MEMS技术的发展，研究人员对微操作技术的研究表现出越来越浓的兴趣。 Shanghai University 1.1 引言 这里，设计和开发一种灵活、价格低廉、半自动微夹持系统，以便解决一些工程实际问题，并希望能够进行较广泛的应用。 电磁驱动的微夹持器装在一个不锈钢支架上，为适应工作区域该支架可人工定位于0~180°间的一个工作角。支架安装在自动控制X，Y，Z轴的定位系统上。光纤和橡胶微粒等所有被夹持的微粒放在另一个移动平台上。 工作速度20μm /s. 1.2 总体结构 Fig. 1c a more general view of the micro-gripping system showing the automatically controlled x, y, z positioning system as well as the mobile platform on which the particles are placed. Shanghai University Fig. 1a Photo of the micro-gripping system Fig. 1b Photo of the electromagnetically actuated micro-gripper Shanghai University 2. 微夹持器与定位系统 微夹持器的手指与末梢都有非晶材料制成，这些材料具有良好的软磁性和力学性能，如VITROVAC 7505（最大脉冲渗透率比4000-8000 Vs/Am）或Metglas 2714A（钴基合金，耐腐蚀）。VITROVAC 7505具有最好的性能表现。 VITROVAC具有较高的磁化强度，高敏感性，而且比Metglas更细。 手指及其末梢是由冷激光切割而成的。手指末梢的形状如图2所示。这种形状有助于从很多微型零件中抓取零件，既使这些零件放置的非常紧密。 Shanghai University 2.1 微夹持器 驱动器包括一个高度定向缠绕FeSi结晶片的双层线圈（120匝，直径70μm）。芯体使用电火花加工（EDM）技术制成。手指通过烧/粘接固定在其左右两侧（如图3所示）。手指由驱动器产生的磁场对称激活。微夹持器的张开和闭合由所施加的交流电控制（0~600mA）。 Shanghai University Shanghai University 驱动前手指末梢的正常状态是张开的，如果驱动后其仍然闭合，那是剩磁的原因。这时可通反向电流使其张开。 Fig. 4. (a) Photo of the tips of the micro-gripper in open state. (b) Photo of the tips of the micro-gripper in closed state. 在大多数应用中，被夹持物应比手指末梢张开范围R小，微夹持器需要在一定程度上接近被夹持物。在这种情况下，要考虑到： （一）Fmag随着手指和驱动器之间距离的减小而增加； （二）Fmech是弯曲手指克服其刚度所需要的力。 处于张开状态时微夹持器一手指上的力近似为： Shanghai University 2.2 定位系统 定位系统是包括一个能沿X，Y，Z轴移动的平台，有微夹持器的不锈钢支架安装于其上，还包含另外一个放置微、小型元件（待操持元件）的移动平台。所有轴都由商用粘滑电机驱动，步长为30