第四章电容式传感器分析报告.pptVIP

三、寄生电容的影响 寄生电容: 　任何两个导体之间均可构成电容联系。电容式传感器除了极板之间的电容外，极板还可能与周围物体，包括仪器中的各种元件甚至人体之间产生电容联系。这种电容称为寄生电容。 　由于传感器本身电容很小，所以寄生电容可能导致传感的电容量发生明显的变化，而且寄生电容极不稳定，还会导致传感器特性的不稳定,对传感器产生严重的干扰. 此外，屏蔽线本身的电容量较大，且由于放置位置和形状不同而有较大变化，也会产生不同的寄生电容，造成传感器的灵敏度下降和特性不稳定。目前解决这一问题的有效方法是采用驱动电缆技术，也称双层屏弊等电位传输技术。 为了克服上述寄生电容的影响，必须对传感器进行静电屏蔽，即将电容器极板放置在金属壳体内，并将壳体良好接地。出于同样原因，其电极引出线也必须用屏蔽线，且屏蔽线外套须同样良好接地。 驱动电缆技术(双层屏蔽等电位传输技术) 基本思路:将电极引出线进行内外双层屏蔽,使内层屏蔽与引出线的电位相同,从而消除了引出线对内层屏蔽的容性漏电（寄生电容）,而外层屏蔽仍接地而起屏蔽作用，防止外电场干扰。 驱动电缆技术的线路复杂,要求高,但传感器的电容量变化为1PF时仍能正常工作. “驱动电缆”:由于屏蔽电缆上有随传感器输出信号变化而变化的电压。 四、温度的影响 1. 温度对结构尺寸的影响 电容传感器由于极板间隙很小而对结构尺寸的变化特别敏感.在传感器各零件材料线膨胀系数不匹配的情况下,温度变化将导致极间隙有较大的相对变化,从而产生很大的温度误差. 环境温度的变化将改变电容传感器的输出与被测输入量的单值函数关系，从而产生温度干扰误差（简称温度误差）。这种影响主要有以下两个方面： 定极板厚度为g0 绝缘件厚度为b0 动极板至绝缘件底部的壳体长为a0 各零件材料的线膨胀系数分别为 由此引起的温度误差et 为 当 由此可见，消除温度误差的条件为 此外，在制造电容传感器时，一般要选用温度膨胀系数小，几何尺寸稳定的材料。 可见,在设计电容传感器时,要尽量的满足补偿条件。 例如电极的支架选用陶瓷材料要比塑料或有机玻璃好；电极材料以选用铁镍合金为好；近年来采用在陶瓷或石英上喷镀一层金属薄膜来代替电极，效果更好。 减小温度误差的另一常用措施是采用差动对称结构，在测量电路中加以补偿。 2. 温度对介质的影响 例如，煤油的介电常数的温度系数可达0.07%/ 0C；若环境温度变化±500C，则将带来7%的温度误差，故采用此类介质时必须注意温度变化造成的误差。 温度对介电常数的影响随介质不同而异，空气及云母的介电常数温度系数近似为零， 而某些液体介质，如硅油、蓖麻油、煤油等，其介电常数的温度系数较大。 设:Z1＝Z2，则当差动电容中的动极板移动Δd时，交流电桥的输出电压为: 式中，C0为C1＝C2 时的电容，ΔC为差动电容变化量。 第三节 测量电路 一、电桥型电路 交流电桥平衡时： 用稳频、稳幅和固定波形的低阻信号源去激励，电桥输出电压经放大，相敏整流后得到直流的输出信号。 二、双T电桥电路 U1高频对称方波电源 + + 则RL上的平均电流为零，RL上输出电压为0. 在电源的正半周时： 在电源的负半周时： 若 在下一个电源的正半周时： 该电路输出电压高，输出阻抗小，它的输出电流可以直接驱动毫安表或微安表。测量的非线性误差很小，适用于高速机械运动量的测量。可用提高激励方波频率的办法提高传感器的频率响应。 若 则经RL的平均电压为： 由虚短： 由虚断： 由上三式得： 三、运算放大器电路 理想运算放大器： 虚短和虚断 CX为电容传感器 由此可知输出电压与动极板位移呈线性关系。所以此电路从原理上解决了变极距式的非线性问题。 但上述结论是在理想的条件下得到的，实际的输出仍有一定的非线性。但当放大器的放大倍数及输入阻抗足够大时，误差很小。 此外， 还与 有关。因此还要求 必须稳定， 必须采用稳压措施。 A1、A2—比较器； R1、R2—充电电阻； R1=R2 UF—参考电压； C1、C2—传感器差动电容 四、脉宽调制型测量电路 初始状态时：C1=C2 U0=0 A、B两点的平均电压不再相等， 此时直流输出电压就等于A、B两点的平均电压之差，经推导可得 脉宽调制型测量电路具有线性输出的特性。这是脉宽调制型测量电路的重要优点。此外，该电路的输出信号一般为100kHZ~1MHZ的高频矩形波，只需简单地经由低通滤波器就可获得直流输出。 五、调频型测量电路 把电容式传感器接入高频振荡器的振荡回路中，当传感器的输出电容量在被测量作用下发生变化时，振荡器频率亦相应地变化，即振荡器频率受传感器输出电容的调制，