刘茜基于DSP的FTIR光谱仪定镜调整系统的研究与应用分析报告.doc

分类号 TP273.5 密级 U D C 编号10486 武 汉 大 学 硕 士 学 位 论 文 基于DSP的FTIR光谱仪 系统的研究与应用 二○○七年五月Master’s Dissertation of Wuhan University Research Application of the Adjustment System for Fixed-mirror of FTIR Spectrometer on DSP By LIU Qian Supervised By Prof. ZENG Libo Wuhan University May, 2006 郑 重 声 明 本人的学位论文是在导师指导下独立撰写并完成的，学位论文没有剽窃、抄袭、造假等违反学术道德、学术规范和侵权行为，否则本人愿意承担由此而产生的法律后果和法律责任，特此郑重声明。 学位论文作者（签名）： 年 月 日 摘 要 基于傅立叶变换光谱学原理的傅立叶变换红外光谱仪（Fourier Transform Infrared Spectrometer—FTIR光谱仪）是继棱镜式、光栅式红外分光光度计后发展起来的第三代红外光谱仪，通过获得物质的红外吸收光谱来鉴别组成物质的成分，具有光通量大、准确度高和分辨率高等特点。 Michelson干涉仪是FTIR光谱仪的核心部件，其准直性的好坏对动镜运动的平稳性和获得的光谱图的质量有着直接的影响，继而影响到整机的性能指标。论文即对干涉仪准直性的保证做了多方面的研究，主要包括干涉仪准直性失调的理论分析、定镜动态校正系统软、硬件的设计与实现。 本文围绕干涉仪准直性失调的校正技术展开，制定了对动镜和定镜像间倾斜角度实时校正的控制策略，设计并实现了以TMS320VC5416 DSP微处理器为主控器件的控制系统动态跟踪动镜的倾斜状态以调整定镜平面姿态，达到校正干涉仪准直性失调的目的。 首先对干涉仪中各类准直性失调的来源进行了分析，从中找到相应的改善措施。在干涉仪失调时的光路模型中，讨论了表征干涉仪准直性的两大参数――调制度和相位误差，通过推导建立了调整算法的数学模型。 为获得系统所需的控制信号，本文所讨论的FTIR光谱仪中激光和红外光同光路，并通过检测电路的冗余误差带设计有效得保证了50%的占空比和过零检测的精度，获得较为理想的激光干涉信号的方波脉冲。 建立模型以后，从硬件和软件两方面对控制系统进行设计：硬件上，通过相位检测电路获取相位差信息，送给DSP进行调节计算后输出数字调整量，经DA转换和功放放大后，通过改变永磁－电磁混合式电磁致动器的电磁线圈中电流大小来控制导磁体的微位移，从而调整定镜平面的姿态，实现对动镜和定镜像间倾斜角度的有效控制。软件上，通过读取状态寄存器中的标志位获悉动镜的运动情况和主机的控制指令，采用改进PID算法对相位差进行调节，提出了分段式调整定镜平面姿态的思想，以保证调整的精度和稳定性。同时还开发了人机交互接口同计算机通信，以方便用户在更换分束器后对干涉仪的准直性进行校正，扩宽仪器的波段范围。 最后本文在调整定镜和不调整定镜的情况下，分别从干涉仪的准直性能（激光调制度和相位误差）、动镜运动的平稳性和获得的光谱图质量三个方面进行了比较，实验结果表明本文所开发的定镜动态调整系统具有足够的精度和实时性，能够保证FTIR光谱仪中干涉仪所需的准直性要求。 关键词：傅立叶变换红外光谱仪 准直性失调 定镜动态调整 DSP CPLD ABSTRACT Fourier Transform Infrared (FTIR) Spectrometer, on the principle of Fourier Transform Spectrography, is the third generation of infrared spectrometers, after prism and grating infrared spectrophotometer. It identifies the composition of the matter through the infrared absorption spectrum, with the characteristics of great luminous-flux, high accuracy and resolution and so on. As the kernel of