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5 磁电式传感器 5.1 磁电感应式传感器 二、结构类型 三、测量电路 四、磁电感应式传感器的应用 5.2 霍尔式传感器 一、 霍尔效应 二、 霍尔元件基本结构 三、 霍尔元件基本特性 四、温度特性及补偿 六、霍尔传感器应用 ①维持I、α不变,则E=f(B),在这方面的应用有:测量磁场强度的高斯计、测量转速的霍尔转速表、磁性产品计数器、霍尔式角编码器以及基于微小位移测量原理的霍尔式加速度计、微压力计等; ②维持I、B不变,则E=f(α),在这方面的应用有角位移测量仪等; ③维持α不变,则E=f(IB),即传感器的输出E与IB的乘积成正比,在这方面的应用有模拟乘法器、霍尔式功率计等。 2、位移测量 * 磁电感应式是利用电磁感应原理将被测量(如振动、位移、转速等)转换成电信号的一种传感器。它不需要辅助电源,就能把被测对象的机械量转换成易于测量的电信号,是一种有源传感器 根据电磁感应定律,当N匝线圈在均匀磁场中,沿垂直磁场方向运动时,产生的感应电势大小决定于穿过线圈的磁通量Φ的变化率。 一、磁电感应式传感器工作原理 磁通变化率与磁场强度、磁路磁阻、线圈的运动速度有关,改变其中一个因素,都会改变线圈的感应电动势。 1、恒磁通式传感器(动圈式图a、动铁式图b) 在这类磁电式传感器中,工作气隙中的磁通保持不变,而线圈中的感应电动势是由于工作气隙中的线圈与磁钢之间作相对运动,线圈切割磁力线产生的。其值与相对运动速度成正比。当线圈相对于磁场方向作直线运动或旋转运动时,所产生的感应电动势e为: e=-NBlv 或 e=-NBSω N为每匝线圈的平均长度 B为线圈所在磁场的磁感应强度 S为每匝线圈的平均截面积 在传感器结构参数确定后,B、l、N、S均为定值,感应电动势e与线圈相对磁场的运动速度(v或ω)成正比,所以这类传感器的基本形式是速度传感器,能直接测量线速度或角速度。由上述工作原理可知,磁电感应式传感器只适用于动态测量。 2、变磁通式(开磁路式图a ,闭磁路式图b) 产生磁场的永久磁铁和线圈固定不动,而是通过磁通的变化产生感应电动势。常用来测量旋转物体的角速度。 磁电感应式传感器直接输出感应电势。所以任何具有一定工作频带的电压表或示波器都可采用。并且由于该传感器通常具有较高的灵敏度,所以一般不需要增益放大器。但磁电感应式传感器是速度传感器,如要获取位移或加速度信号,就需配用积分电路或微分电路 磁电式检测头1和2对着齿顶安装,传感器内的永久磁铁产生的磁力线与齿形圆盘交链。当齿形圆盘旋转时, 圆盘齿凸凹引起磁路气隙的变化, 于是磁通量也发生变化, 在线圈中感应出交流电压, 其频率等于圆盘上齿数与转数乘积。 当转轴不受扭矩时,两线圈输出信号相同,相位差为零。 当扭矩作用在转轴上时, 两个磁电线圈输出的感应电压u1和u2存在相位差,该相差与转轴的扭转角成正比。这样传感器就可以把扭矩引起的扭转角转换成相位差的电信号。 霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。1879年美国物理学家爱德文·霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应, 但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。随着半导体技术的发展, 开始用半导体材料制成霍尔元件, 由于它的霍尔效应显著而得到应用和发展。 霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、振动等方面的测量。 按照霍尔器件的功能可分为:霍尔线性器件和霍尔开关器件。前者输出模拟量,后者输出数字量。 在置于磁场的导体或半导体中通入电流,若电流与磁场垂直,则在与磁场和电流都垂直的方向上会出现一个电势差,这种现象就是霍尔效应,产生的电势差称为霍尔电压。 在与左右两个端面上的金属电极,称为控制电极。在控制电极上外加一电压u,形成的电流 I 称为控制电流(或激励电极)。 FL=qvB q为载流子电荷; v为载流子的运动速度; B为磁感应强度 以N型半导体为例,导电的载流子是电子。在垂直方向的磁场作用下,电子受到洛仑兹力 FL作用,其方向用右手螺旋定则判断(从正电荷的移动方向出发,绕向B,大拇指的方向即为FL) 在洛仑兹力的作用下,电子向一侧偏转,使该侧形成负电荷的积累,另一侧则形成正电荷的积累。这样,这两端面因电荷积累而建立了一个电场Eh,称为霍尔电场。该电场对电子的作用力与洛仑兹力的方向相反,即阻止电荷的继续积累。当电场力与洛仑兹力相等时,达到动态平衡,这时有 qEh=qvB 由上可推得: RH为霍尔系数,它反映材料霍尔效应的强弱。 KH为霍尔灵敏度,它表示霍尔元件在单位控制电流和单位磁感应强度
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