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第一章 传感器及其应用  —压力传感器— 一 压力传感器的分类 压力是重要的工业参数之一，正确测量和控制压力对保证生产工艺过程的安全性和经济性有重要意义。压力及差压的测量还广泛地应用在流量和液位的测量中。  压力传感器用以将“压力”转换“成电量，然后进行测量。这里的”压力“，可以来自流动的气、液体或声音，也可以是力的作用。 机械式:成本低、无需电源，被广泛使用，但体积较大、灵敏度较低。 电气式： （ 体积小、 灵敏度高） 半导体压力传感器 应变式压力传感器 压阻式压力传感器 测力（称重）传感器 压电式压力传感器 声表面波压力传感器 电容式压力传感器 谐振压力传感器 电感式压力传感器 IC压力传感器…… 二 电阻应变片传感器 1 工作原理 金属的电阻应变效应：当金属丝在外力作用下发生机械变形时其电阻值将发生变化 长度变化为△L，面积变化为△A，则电阻的变化为： 导体材料在外力作用下产生机械形变时，其电阻值随着发生变化的现象，称为电阻应变效应。 半导体的压阻效应：固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应，半导体材料的压阻效应特别强。 半导体电阻率: πl为半导体材料的压阻系数，它与半导体材料种类及应力方向 与晶轴方向之间的夹角有关； E为半导体材料的弹性模量，与晶向有关。 位移、力、力矩、加速度、压力 弹性敏 感元件 应变 外力作用 被测对象表面产生微小机械变形 应变片敏感栅随同变形 电阻值发生相应变化 应变片 2 电阻应变片的结构与种类 （1）金属电阻应变片：金属电阻应变片有丝式、箔式及薄膜式等结构形式。 （2）半导体应变片：利用半导体材料的 压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。 体型半导体、薄膜型半导体应变片、扩散型半导体应变片。 *灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍 ； *横向效应和机械滞后极小； *温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多。 应变片测量应变是通过敏感栅的电阻相对变化而得到的。测量电阻的微小相对变化是通过测量电路得到的。 测量电路：直流电桥（供电电源为直流电压）和交流电桥（供电电源为交流电压） 工作原理：应变片受力后阻值发生变化，而使桥路输出电压发生变化，且电压变化与受力大小成比例。 3 电阻应变片的测量电路 平衡条件 : R1R4=R2R3 R1/R2=R3/R4 R1、R2、R3、R4 可由4个应变片单独构成，也可由4个应变片和4个电阻构成（将应变片粘贴在电阻上） 应变片工作时，其电阻变化ΔR R1、R2、R3、R4 可由4个应变片单独构成，也可由4个应变片和4个电阻构成（将应变片粘贴在电阻上） 采用等臂电桥，即R1= R2= R3=R4=R 。此时有： 设外力作用下应变片的阻值变化为： R1= R4=R＋△R; R2=R3=R-△R 4 电阻应变片传感器 应变式力传感器 应变式压力传感器 应变式液体重量（或液位）传感器 应变式加速度传感器 将应变片粘贴在弹性元件上，进行标定后作为测量力、压力、位移等物理量的传感器。 薄壁圆环式力传感器 在外力作用下， 各点的应力差别较大 梁式力传感器 等截面梁 结构简单，易加工，灵敏度高 适合于测5000N以下的载荷 b0 R1 R2 l0 l F b h ① 等截面悬臂梁 筒式压力传感器 BK-2S称重传感器 采用国际流行的双梁式或剪切S梁结构，拉、压输出对称性好、 测量精度高、结构紧凑，安装方便，广泛用于机电结合秤、料斗秤、包装秤等各种测力、称重系统中。供桥电压 12VDC 输入阻抗 380±20Ω 输出阻抗 350±10Ω 绝缘电阻 2000MΩ 工作温度 -10~+50℃  BK－4轮辐式传感器系列  采用轮辐式结构，高度低，抗偏抗侧能力强，测量精度高，性能稳定可靠安装方便，是大、中量程精度传感器中的最佳形式，广泛用于各种电子衡器和各种力值测量，如汽车衡、轨道衡、吊勾秤、料斗秤。 技术参数 量程（t） 1，2，5，10，20，30，50 供桥电压 12VDC 灵敏度 1．5~2mV/V 输入阻抗 730±20Ω 非线性（%FS） 0.03, 0.05, 0.1 输出阻抗 700±10Ω 重复性（%FS） 0.03, 0.05, 0.1 绝缘电阻 ≥2000MΩ 滞后（%FS） 0.03, 0.05, 0.1 工作温度 -10~+50℃ 允许过负荷 120%FS 热零点偏移（%FS/10℃） 组合式压力传感器 压力敏感元件为膜片或膜盒、波纹管、弹簧管等 应变片不直接粘贴在压力感受元件上 通常用