第3章压力检测(新).pptVIP

1 第3章 压力检测 本章学习要求： 1.理解压力的概念。 2.掌握应变式、压电式、电容式、霍尔式压力传感器的 工作原理、测压方法及应用、误差分析及补偿等。 3.了解其它压力传感器。 1.工程大气压( kgf/cm2 ,符号at ) ：1kg力垂直作用在1cm2面积上产生的压力。 1kgf/cm2 = 0.9807×105Pa 2.标准大气压(atm) ：维度450的海平面上0℃时的平均大气压力。 1atm = 1.01325×105Pa 3.约定毫米汞柱(mmHg) ： 0℃时1mm高的水银柱在1cm2底面上产生的压力。 1mmHg = 1.332×102Pa 4.约定毫米水柱(mmH2O)： 4℃时1mm高的水柱在1cm2底面上产生的压力。 1mmH2O = 0.9807×10Pa 三、压力传感器的基本知识 测量范围为:7×10-5～5×108 Pa。 信号输出有电阻、电流、电压、频率等形式。 压力测量系统一般由传感器、测量线路和测量装置以及辅助电源所组成。 常见的信号测量装置有电流表、电压表、应变仪以及计算机等。 目前，利用应变效应、压电效应或其他固体物理特性的压力传感器已实现小型化、数字化、集成化和智能化，直接把压力转换为数字信号输出，并可与计算机连接，从而实现工业过程的现场控制。 四、压力传感器的类别 应变式 压电式 电容式 霍尔式 电位器式 电感式 振弦式等 3.2 应变式压力计 应变：物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象。 应变式压力计： 应变式压力计是利用电阻应变效应做成的传感器，是常用的传感器之一，它的核心元件是电阻应变片。 电阻应变片： 一种能将机械构件上的应变的变化转换为电阻变化的传感元件。 3.2.1 电阻应变效应 应变效应：导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械形变时，其电阻值发生的变化，称为电阻应变效应。 原理分析： 未受力时:设有一根长度为L，截面积为S，电阻率为ρ的电阻丝，未受力时的电阻值为： 受力后：设在外力作用下，应变电阻栅随弹性元件变化产生伸长变形ΔL，由于长度L变长，电阻丝的截面积S将缩小。上述两种变形将使得电阻栅每段电阻丝的电阻产生变化。 K表示当发生应变时，其电阻变化率与其轴向应变的比值，称为电阻丝的灵敏系数。由于： K的大小由两个因素决定： 导电丝的几何尺寸的改变，用(1+2μ)项表示。 导电丝受力后，材料的电阻率ρ发生变化。 3.2.2 电阻应变片 定义:能将机械构件上的应变的变化转换为电阻变化的传感元件。 分类:应变片有很多品种系列: 应用： 广泛用于力、力矩、压力、加速度、重量等参数的测量。 一、金属应变片 常见形式：金属丝式、箔式、薄膜式等。丝式应变片是最早 应用的品种。 2.箔式应变片 箔式应变片的线栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成很薄的金属薄栅（厚度一般在0.001mm～0.01mm）。 箔式应变片与丝式应变片相比有如下优点: ⑴工艺上保证线栅的尺寸、线条均匀，大批量生产时阻值离散程度小。 ⑵可根据需要制成任意形状和微型小基长（0.1 mm）的应变片。 ⑶截面积为矩形，表面积大，散热好，在相同截面下能通过较大电流。 ⑷厚度薄，因此具有较好的可挠性，它的扁平状箔栅有利于形变的传递。 ⑸蠕变小，疲劳寿命高。 ⑹横向效应小。 ⑺便于批量生产，生产效率高。 半导体应变片特点 优点: 灵敏度高。比金属应变片的灵敏度约大50～100倍。工作时，可不必用放大器就可用电压表或示波器等简单仪器记录测量结果。 体积小，耗电省。 具有正、负两种符号的应力效应（即在拉伸时P型硅应变片的灵敏度系数为正值；而N型硅应变片的灵敏度系数为负值）。 机械滞后小，可测量静态应变、低频应变等。 缺点： 非线性严重。 3.2.3 电阻应变片的粘贴及温度补偿 一、应变片的粘贴 粘合剂的性能及粘合工艺的质量影响应变片的工作特性。 要选择合适的粘合剂和正确的粘结工艺。 1.对粘合剂要求: (1) 有一定的粘结强度。(2) 能准确传递应变。 (3) 蠕变小。 (4) 机械滞后小。 (5) 耐疲劳性能好。 (6) 具有足够的稳定性能。 (7) 对弹性元件和应变片不产生化学腐蚀作用。 (8) 有适当的储存期。 (9) 应有较大的温度使用范围。 2.应变片的粘贴： 粘贴工艺包括：被