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氧化锌纳米线的制备方法及应用 汇报人： 仇晓风 汇报日期：2013.11.25 材料先进制备技术 目录 1 ZnO纳米线的制备方法 汇报内容： 2 ZnO纳米线的应用前景 ZnO纳米线的制备方法 物理法：磁控溅射法、分子束外延法等 化学法 模板合成法 电化学合成法 溶胶-凝胶法 微乳液法 水热合成法 气相合成法 ZnO纳米线的制备方法 电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。 优点：牢固致密、高速低温，广泛用于工业生产多晶ZnO薄膜 缺点：靶刻蚀不均，高真空、设备较昂贵 磁控溅射法 磁控溅射法原理图 ZnO纳米线的制备方法 分子束外延法 在高真空系统中相对地放置衬底和几个分子喷射炉，将欲组成化合物的各种元素和掺杂元素分别放入不同喷射炉内加热，是它们的分子(或原子)以一定的热运动速度和一定比例的束流强度喷射到加热的衬底表面，与表面产生相互作用，进行单晶薄膜的外延生长。 分子束外延法原理图 气相合成法 利用高温物理蒸发，通过气体传输, 可使反应物沉积到低温衬底上并生长为一维结构。 锌源： ZnO粉、Zn粉 优点：参数可控，容易实现控制生长，纯度高，结构复杂 缺点：高温600~ 1000℃, 成本高, 样品无序排列，