硅料、边皮料清洗培训讲解.ppt

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注意事项: 1、化学清洗剂的浓度及配比 2、清洗温度和清洗时间 3、做好作业过程中的安全防护 4、保持设备及工作环境整洁 影响清洗效果 边皮料自动清洗机 1、设备数量:一台,右进左出 2、材质:PP(聚丙烯)PVDF(聚四氟乙烯)SUS(耐腐蚀钢材)—— 耐化学腐蚀的特性 3、组成:机架,机械搬运部分(上下料台、移栽机械手),清洗主体,抽风系统,电控操系统 等 4、作用:清洗掉去头尾边皮料表面附着的污染物、金属离子、氧化物等 移载机械手 清洗篮 原辅材料: 原生多晶硅料、去头尾边皮料、氢氟酸(49%)、硝酸(65%)、氢氧化钠、盐酸(37%)、纯水、氮气 多晶硅块的基本特性: 熔点:1410℃ 沸点:2355℃ 硬度:7.0HRC(洛式硬度单位) 密度:2.33g/cm3 结晶构造:金刚石晶格 抗压值:< 300kN,易碎 块的外形尺寸:6-150mm,形状不规则 氢氟酸的基本特性: 理化性质: 氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,为无色透明液体。有刺激性气味。 对皮肤有强烈腐蚀性。对牙齿、骨骼损害较严重。对硅的化合物有强腐蚀性。蒸汽对呼吸道有损伤。 安全防护: 密闭操作,注意通风。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具,穿橡胶耐酸碱服,戴橡胶耐酸碱手套,严防触及皮肤。 治疗: 不慎沾染用,“六氟灵”进行处理,并就医。 硝酸的基本特性: 理化性质: 分子式HNO?无色透明液体,有窒息性刺激气味。含量为68%左右,在空气中冒烟。有强氧化性,强腐蚀性。 安全防护: 1)呼吸防护:佩戴含防硝酸虑罐的防毒面罩。 2)手部防护:防渗手套,材质以Responder为佳。 3)眼睛防护:气密式化学安全护目镜、全面镜。 4)皮肤及身体防护:橡胶材质连身式防护衣,工作鞋 治疗: 不慎沾染,用“敌腐特灵”进行处理,并就医。 氢氧化钠的基本特性: 理化性质: NaOH水溶液为无色透明液体,呈强碱性,对纤维、皮肤、玻璃、等有腐蚀作用,溶解或浓溶液稀释时会放出热量;与无机酸发生中和反应也能产生大量热。 较浓的氢氧化钠溶液溅到皮肤上,会腐蚀表皮,造成烧伤。 安全防护: 操作人员工作时必须穿戴工作服、口罩、防护眼镜、橡皮手套、橡皮围裙、长筒胶靴等劳保用品 治疗: 不慎沾染,用“敌腐特灵”进行处理,并就医。 盐酸的基本特性: 理化性质: HCl溶液为无色或微黄色易挥发性液体,有刺激性气味,浓盐酸具有极强的挥发性。 盐酸具强腐蚀性、强刺激性,可致人体灼伤。 安全防护: 密闭操作,注意通风。操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩),穿橡胶耐酸碱服,戴橡胶耐酸碱手套。配备泄漏应急处理设备。 治疗: 不慎沾染,用“敌腐特灵”进行处理,并就医。 硅料清洗工艺流程: 10#干燥 11#干燥 下料 上料 1#强酸腐蚀 2#纯水快排 3#HF酸洗 4#溢流漂洗 8#切水 7#溢流漂洗 6#纯水超声漂洗 5#纯水锁 9#干燥 备注:AUTO DOOR--自动门 LOAD--上料 DIwater--纯水 water lock--水锁 UNLOAD--下料 RT--常温 上(下)料台 料台材质:PP(白色) 移动方式:人工上下,自动进出料 自动门开关 :感应料台位置 导向:导向到位提醒,不到位报警 第1#槽:强酸清洗(放热化学反应) 清洗介质:HF+HNO3(HF:HNO3=1:4.5) 清洗方式:旋转+循环+浸泡+冷却 清洗时间:30-60s 可依据清洗效果在此范围内适当调节。 清洗温度:10-40℃温控可调,副槽装有热交换器,用于稳定酸液温度;配“日菱”风冷式冷水机一台用于制备循环冷却水(自动控温程序,超出温度设定范围报警。槽内温度低于18℃时才可以上料。 ) 自动盖:对开气动密封盖 排液口装有可拆式过滤网,用于接收硅材料。配自动补液系统。 储酸槽材质:10mmPVDF(聚四氟乙烯) 第2#槽:纯水快排 清洗介质 :纯水 清洗方式:旋转+溢流+鼓泡+快排 清洗时间:30-80S 触摸屏直接控制 清洗温度:常温 快排:φ100气动阀,排液口装有可拆式过滤网,用于接收硅材料(每天清理) 溢流: 排走 无自动盖 槽体材质:10mmPP 第3#槽:HF酸洗 清洗介质:HF 清洗方式:旋转 清洗时间:20-60s(0-99min)触摸屏直接控制, 清洗温度:常温 自动盖:对开气动密封盖 排液口装有可拆式过滤网,用于接收硅材料 槽体材质:10mmPP(德国) 此槽已屏蔽 第4#槽:纯水漂洗 清洗介质:纯水 清洗方式:旋转+溢流+鼓泡+快排 清洗时间:60-80S 触摸屏直接控制 清洗温度:常温 溢流: 排走 排液口装有可拆式过滤网,用于接收硅材料 槽体材质:10mmPP 第5#槽:纯水锁(过渡转运槽) 清洗介质:纯水 清洗方式:溢流漂洗,水下横移(链条输

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