2011_0524_北航_传感器技术及应用_樊尚春_012_to要点分析.pptVIP

* 仪器科学与光电工程学院 School of Instru. Sci. Opto-electro. Eng. * 传感器技术及应用 第1讲：绪 论 第2讲：传感器的输入输出特性 第3讲：传感器敏感结构的力学特性 第4讲：几种典型的模拟式传感器 第5讲：谐振式传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 第7讲：总 结 课程内容 谐振状态(实际) 谐振敏感元件 单点情况 多点情况 5.2.1 谐振现象 5.1 概 述 5.2 谐振状态及其评估 5.3 闭环自激系统的实现 5.4 敏感机理及特点 5.5 几种典型的谐振式传感器 第5讲：谐振式传感器 装备我国现役飞机的谐振筒式压力传感器【300米分层】 谐振式科氏直接质量流量传感器【“十一五”“863计划”】 石英谐振式集中力传感器【清华大学，冯冠平教授】 F22等先进飞机分布式大气参数测量的MEMS谐振式传感器 支撑我们主持完成的2008年度国家科技进步二等奖 5.5.1 谐振弦式压力传感器 5.5.2 振动筒压力传感器 5.5.3 谐振膜式压力传感器 5.5.4 石英谐振梁式压力传感器 5.5.5 石英谐振式集中力传感器 5.5.6 谐振式科里奥利直接质量流量传感器 5.5 几种典型的谐振式传感器 自学讨论 结构与原理 特性方程 激励方式 5.5.1 谐振弦式压力传感器 结构与原理 5.5.1 谐振弦式压力传感器 p ——被测压力的函数 ？ 结构与原理 特性方程 5.5.1 谐振弦式压力传感器 间歇式 连续 结构与原理 特性方程 激励方式 5.5.1 谐振弦式压力传感器 结构与原理 特性方程 激励方式 特性线性化与误差补偿 5.5.2 谐振筒压力传感器 谐振筒式压力传感器结构 圆柱壳 拾振线圈 激励线圈 Pt电阻 基座 支承骨架 外壳 圆柱壳 谐振敏感元件 5.5.2 谐振筒压力传感器 结构与原理 谐振筒式压力传感器结构 拾振线圈 激励线圈 Pt电阻 基座 支承骨架 外壳 圆柱壳 谐振敏感元件 5.5.2 谐振筒压力传感器 结构与原理 谐振筒式压力传感器结构 圆柱壳 工作原理结构 拾振线圈 激励线圈 拾振线圈 激励线圈 Pt电阻 基座 支承骨架 外壳 圆柱壳 谐振敏感元件 5.5.2 谐振筒压力传感器 结构与原理 圆柱壳 利用处于“谐振状态”的机械敏感结构 谐振敏感结构示意图 传感器工作时，通过检测圆柱壳的谐振频率，得到被测压力 不同压力对应着圆柱壳(谐振筒)不同的固有频率(谐振频率) 获得谐振频率 拾振线圈 激励线圈 拾振线圈信号 被测压力 p 圆柱壳的谐振频率 f 5.5.2 谐振筒压力传感器 结构与原理 结构与原理 5.5.2 谐振筒压力传感器 结构与原理 5.5.2 谐振筒压力传感器 ——圆柱壳的固有振动分析 【14阶偏微分方程】 5.5.2 谐振筒压力传感器 ——特性方程 类固支 固支 ——弹性敏感结构固有振动分析 【20阶偏微分方程】 5.5.2 谐振筒压力传感器 ——特性方程 谐振筒的振型 5.5.2 谐振筒压力传感器 ——特性方程 谐振筒的振动能量分布 5.5.2 谐振筒压力传感器 ——特性方程 谐振筒的压力频率特性 5.5.2 谐振筒压力传感器 ——特性方程 电磁激励方式 压电激励方式 结构与原理 特性方程 激励方式 5.5.2 谐振筒压力传感器 电磁激励工作方式 传感器的应用特点 ——非接触模式 ——振型的选择 ——传感器装配 ——功耗高 ——结构复杂 ——抗干扰能力差 5.5.2 谐振筒压力传感器 原理结构示意图（压电激励） 应用特点 ——功耗低 ——结构简单 ——抗干扰能力强 ——振型的选择 ——传感器装配 ——接触模式 5.5.2 谐振筒压力传感器 结构与原理 特性方程 激励方式 特性线性化与误差补偿 5.5.2 谐振筒压力传感器 最新进展 5.5.2 谐振筒压力传感器 最新进展 5.5.2 谐振筒压力传感器 5.5.4 石英谐振式集中力传感器 结构与原理 特性方程 激励方式