1-TEM教程讲解.ppt

样品室 样品室是电子光学系统中的重要组成部分。它位于聚光镜和物镜之间。它的主要作用是通过样品台承裁样品，并能使样品平移、倾斜或旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。在特殊情况下，样品室内还可分别装有加热、冷却或拉伸等各种功能的样品座，以满足相变、形变等过程的动态观察。 放大和成像系统 透射电子显微镜中，物镜、中间镜、投影镜（现代电镜有三级投影镜）是以积木方式成像，也就是说，上一透镜的像平面就是下一透镜的物平面，这样才能保证经过连续放大的最终像是一个清晰的像。在这种成像方式中，如果电子显微镜是三级成像，那么总的放大倍率就是各个透镜倍率的乘积。 第一中间镜的物平面为物镜的像平面，可观察图像；第一中间镜的物平面为物镜的焦平面，可观察电子衍射 电子显微分析 研究生实验专题课 参考书 1、陈世朴，王永瑞， 《金属电子显微分析》，机械工业出版社，1982 2、戎咏华，《分析电子显微学导论》，高等教育出版社，2006 3、章晓中，《电子显微分析》，清华大学出版社，2006 4、周玉，《材料分析方法》，机械工业出版社，2000 5、近藤大辅，及川哲夫，《材料评价的分析电子显微方法》，冶金工业出版社，2001 6、近藤大辅，平贺贤二，《材料评价的高分辨电子显微方法》，冶金工业出版社，2002 7、洪班德，《金属电子显微分析实验指导》，哈尔滨工业大学出版社，1984 8、刘文西，黄孝瑛，《材料结构电子显微分析》，天津大学出版社，1989 9、杨平，《电子背散射衍射技术及其应用》，冶金工业出版社，2007 前言 进行电子显微分析时要把具有一定能量的电子汇聚成细小的电子束，与样品物质相互作用，激发出可以表征材料微区特征的各种信息，检测并处理这些信息。 电子显微镜是利用电子与物質作用所产生的訊号來鉴定微区的晶体结构(crystal structure）、微观组织 (microstructure）、 化学成份(chemical composition) 、 化学鍵(chemical bonding) 和电子分佈情況 (electronic structure) 的电子光学裝置。 1897年英国人J.J. Thomson发现电子 1912年von Laue发現X光衍射現象 1914年Bragg父子提出Bragg 定律，奠定了X光的波动性和利用电磁波衍射决定晶体结构的方法 1924年，de Broglie提出波粒二象性 1926 年 Schroedinger及Heisenberg发展了量子力学，建立电子波粒二象性的理论基础 1927 年美国 Davisson和Germer以电子衍射实验证实了电子的波性 电子光学史 J.J.Thomson作阴极射线管实验时观察到电场及磁场可偏折电子 1926年Busch发现可用电磁场聚焦电子，产生放大作用。电磁场对电子之作用与光学透鏡对光波之作用非常相似，因而发展出电磁透鏡 1934年Ruska在实验室制成第一部透射电子显微鏡（transmission electron microscope，TEM) 1938 年，德国西门子公司第一部商业电子显微镜問世 1940年代，常用的50 至100 keV 之TEM 其分辨率約在l0 nm左右，而最佳分辨率則在2至3 nm之間。当时由于研磨試片的困难及缺乏应用的动机，所以很少为物理科学研究者使用。直到1949年，Heidenreich制成适于TEM观察的鋁及鋁合金薄膜，观察到因厚度及晶面不同所引起的像衬度效应，並成功的利用电子衍射理论加以解释。同時也获得一些与材料性质有关的重要結果，才使材料界人士对TEM看法改变。但因为一般試片研制不易，发展缓慢。 透射电子显微镜的发展 1950年代中期，英国Hirsch改进了试样制备，建立了薄晶体电子衍衬运动学和动力学理论，成功地分析了透射电子显微镜中所观察到的图像，例如位借、层错等。各种晶体缺陷，以前只能在理论上描述和间接地演示，现在直接在电子显微镜下观察到。 1956年Menter用多束电子成像的方法，在电子显微镜下直接观察酞青铜晶体中(201)点阵平面间距为1.2nm的条纹像，开创了高分辨电子显微术 70年代末日本大阪大学应用物理系教授桥本初次朗应用透射电子显微镜直接观察到单个重金属原子(金原子)及原子集团中的近程有序排列，并用快速摄影记录下原子跳动的踪迹,实现了人类直接观察原子的宿愿。 60多年的实践证明，电子显微镜是上世纪最重大发明之一，卢斯卡教授由于他的先驱工作给科学所带来的巨大贡献，从而获得1986年的诺贝尔物理学奖 ERNST RUSKA I was born on 25 December 1906 in Heidelberg as the fifth o