GX-WI-SC-001A0干膜部作业指导书技术报告.docVIP

修 改 记 录 制/修订页次 版次 修 改 内 容 制/修订日期 共6页 A0 新制定 2014-10-05 受 控 文 件 保 管 记 录 分发号 会签单位 签 名 栏 日 期 作 废 文 件 回 收 记 录 文件份数 回收时间 销毁人 销毁时间 □01 总经理室 □02 管理者代表 □03 行 政 部 □04 财 务 部 □05 业 务 部 □06 品 管 部 □07 生 产 部 □08 工 程 部 □09 采 购 部 □10 PMC 部 签署栏 编制: 审核: 批准: 受控章 日期: 日期: 日期: 1.目的 将底片的线路图像转移到覆铜板上，形成一种抗蚀或抗电镀的掩膜图像. 2.适用范围 干膜部所有员工. 3.质量要求 3.1干膜厚度均匀，无起皱现象及干膜与板面结合力良好； 3.2干膜底无杂物、无氧化、污迹； 3.3曝光、显影后，干膜板无曝光过度、曝光不良、显影不净等不良现象； 3.4其他要求参见《干膜线路转移检验标准》. 4.工艺环境及要求 4.1干膜车间照明灯为安全黄光灯； 4.2室内温度：18-24℃,相对湿度：50-70%； 4.3进入净化房必须穿工鞋； 5.操作条件 5.1前处理磨板机、显影机操作条件： 序号 磨板机 1 名称 规格 2 酸洗缸的容积 150L-200L 3 酸洗缸开缸比例 2%-3%硫酸溶液 4 酸洗缸换缸周期 每12小时一次 5 循环水洗压力 1 -2kg/cm2 6 烘干温度 90℃±5℃ 7 机器输送速度 2.5-5m/min 8 磨痕宽度 15mm±5mm 5.2干膜贴膜机操作条件： 压辘压力 5.5±0.5kg/cm2 压辘温度 100℃-130℃ 输送速度 1.0-2.0m/分 5.3曝光机操作条件： 抽真空强度 ﹤-650㎜ Hg 曝光强度(能量) 21级曝光尺的曝光级数为6-9级 曝光灯能量 旭化城干膜 120-150mj/cm2 长兴干膜 80-130mj/cm2 湿膜 250-350mj/cm2 5.4其他 5.4.1黄菲林曝光次数应≤800次； 5.4.2氨水机的显影温度为60-70℃. 6.作业流程 6.1流程图 6.2生产前准备 6.2.1前处理磨板机 6.2.1.1检查磨板机的酸洗缸药水是否需要更换; 6.2.1.2检查各喷咀是否畅通; 6.2.1.3检查药水洗、各循环水洗的压力是否与使用要求相符; 6.2.1.4检查吹干段发热线及鼓风工作是否正常; 6.2.1.5输送及整个机器运转是否正常. 6.2.2压模机 6.2.2.1检查压膜机是否有刮伤、缺口、残胶,并用90%以上的甲醇清洁表面; 6.2.2.2检查气压是否足够; 6.2.2.3检查机器运转是否正常. 6.2.3曝光机 6.2.3.1检查曝光机的循环水是否在规定范围内; 6.2.3.2检查真空盘胶膜是否有破损、漏气，曝光机是否正常. 6.2.4显影机 6.2.4.1检查酸洗缸药水是否需要更换; 6.2.4.2检查各个喷咀是否畅通; 6.2.4.3检查药水洗、各循环水洗的压力是否与使用要求相符; 6.2.4.4检查吹干段发热线及鼓风工作是否正常; 6.2.4.5输送及整个机器运转是否正常. 6.3生产操作 6.3.1前处理 6.3.1.1将各水缸洗净,加满自来水至水位线; 6.3.1.2酸洗缸加水至水位线的3/4处,小心倒入4.5-6L硫酸,然后加水至满刻度; 6.3.1.3打开自来水清洗球阀; 6.3.1.4打开电源开关,触摸人机界面出现主画面,开启启动按钮; 6.3.1.5依次输入酸洗、循环水洗、上下磨辘、摇摆、循环水洗、鼓风机、发热线等开关; 6.3.1.6调校温度控制至所需温度; 6.3.1.7调校速度控制至所需速度; 6.3.1.8调校磨辘压力,使磨痕宽度在15±5mm之间; 6.3.1.9每次磨厚度不同的板,都需要调整磨辘压力,而调校后要试磨刷3块板,检查是否干净才可正式磨板; 6.3.1.10检查控制面板上的低水位、门掣等各故障指示灯在运作过程中是否亮起，若有则将问题处理好后重新开机运转. 6.3.2贴膜 6