8.nikon精度确认讲解.docVIP

8. 精度確認 為了確認NSR的基本性能是否正確地被維持、作為精度確認的方法、準備有以下所示的5種項目。 請按一個月一次的間隔進行確認。 ① 最佳曝光条件 ： 確認曝光時間和焦点補償的最佳値 ② Stepping精度 ： 確認Wafer stage的定位精度 ③ 重合精度 ： 確認Alignment精度(LSA , FIA , LIA) ④ Reticle回轉 ： 確認残留Reticle回轉量和重複性 ⑤ 鏡頭畸変 ： 確認投影像的歪変 8.1 測試Reticle和曝光数据 精度確認使用Nikon的測試Reticle及専用的曝光数据。請注意因為根据機種等的不同、使用的 Reticle及曝光数据也会有差異。 (1) 測試Reticle G8 / i8 , i9型 (5英寸Reticle) : R2005A G8 / i8 , i9型 (6英寸Reticle) : R2005HA G7 / i7型 (5英寸Reticle) : R1755A (2) 曝光数据 毎個項目中都準備有以下所示的専用曝光数据。 這些数据通常以和程序名相同的名称被装入、没有装入時、請装入指定的曝光数据後使用。 表8-1 確認項目 工藝名 程序名 備考 G8/i8 , i9(5) G8/i8 , i9(6) G7/i7 最佳曝光条件 20nUSR 20HnUSR 17nUSER TPR Test-2 Stepping精度 20nUSR 20HnUSR 17nUSER STEP ――― 重合精度 20nUSR 20nUSR 20nUSR 20nLIA 20HnUSR 20HnUSR 20HnUSR 20HnLIA 17nUSER 17nUSER 17nFIA 17nLIA REG1 EGA FIA LIA 1st 2nd(LSA) 2nd(FIA) 2nd(LIA) Reticle回轉 20nUSR 20HnUSR RR1 ~ RR5 RR1 ~ RR5 1 ~ 25行 鏡頭畸変 20nUSR 20HnUSR DIS DIS ――― 機器型式後的括号内的数字表示Reticle尺寸的英寸数。 工藝名内的n表示Wafer尺寸的英寸数。 8.2 解像力図表和標尺 測試Reticle内各個部分制作有解像力図表和標尺。 使用這些解像力図表和標尺進行精度確認。(解像力：分掩能力) 8.2.1 解像力図表 最佳曝光条件由解像力図表確認。 比較毎個Shot的解像力図表内的線条／空格、或圓点空隙、尋找条件最好的曝光Shot、以此Shot 的曝光条件為最佳曝光値。 8.2.2 標尺 最佳曝光条件以外的精度由標尺測定。 因為根据確認的項目、標尺的位置等会有差異、所以請参考標尺内帯有的位置指標和確認項目、目 讀確切的標尺。 (1) 標尺的讀法 図8-3所示的標尺図形是主尺図形和副尺図形相重合的状態。 察看主尺図形和副尺図形的間隙、尋找間隙相等的地方。 找到的標尺下面所附帯的数字為讀数値。 数字単位為1/10μm、根据数字間的＋和－記号、可以判定正負。 (2) 位置指標 標尺内一定帯有這種芯片内位置的指標。 根据此指標可以知道看芯片内何処的標尺。 例如、図8-4的情況下、表示標尺在□16mm領域的右上位置。 注意 通過顕微鏡看時、像通常反轉。 也就是上述的例子中通過顕微鏡後的像、実際 的標尺在左下的位置。 (3) 確認項目名 重合精度(X , Y) Stepping精度(