第二部分 第五章 真空技术摘要.ppt

1、27℃下，1升容器中，当压强为1 Pa时，容器中有多少气体分子？ 2、什么叫真空？ 3、影响机械泵极限真空度的因素有哪些？ 4、影响扩散泵极限真空度的因素有哪些？ 5.4 真空系统 5.4.1 真空材料 金属管道 1）结构材料 玻璃管道 橡胶管道 2）密封材料：真空封油、真空封蜡、真空封泥、真空漆、环氧树脂。 当然，以上介绍的密封材料都是半永久性的。 永久性：焊接 静密封： 半永久性：封蜡、胶 密封 可拆性：法兰、螺纹、磨口 动密封：活塞、密封圈 5.4.2 常用附件 真空活塞：有金属的，也有玻璃的；连接与开关 真空阀门：同活塞 冷阱： 可使某些气体在冷阱中被捕捉从而进一步提高真空度或对某些气体进行分离。 5.4.3 真空清洁 1）橡胶制件的清洁：氢氧化钠溶液； 2）玻璃零件的清洁：洗液； 5）金属制品的清洁：有机溶剂去油。 5.4.4 真空系统抽气的几个术语 （1) 气流量Q 式中 V－气体体积，m3 p－压力，Pa t－时间，s （2) 真空管路的流导C 式中 Q－气流量， Pa.m3/s p2， p1－管道两端的压力。 （3)抽气速率 第五章 真空技术 5.1 概述 真空： 低于大气压力的气体状态。单位：Pa 低真空： 10-1-103Pa； 高真空： 10-6-10-1Pa； 超高真空： 低于10-6Pa。 真空技术的应用，发展了一系列的冶金新工艺，提高了产品质量，同时，出现了大量真空冶金物理化学问题待冶金工作者去研究。 在现代分析测试技术中也需要真空技术的配合。 真空在冶金中的应用： 1） 过滤； 2） 保存易腐物质； 3） 熔点、沸点下降，有利于干燥、提纯、分离； 4） 传热速度下降，有利于隔热； 5） 电绝缘性良好； 6） 分子碰撞机会少，可制作加速器； 7） 固体对气体吸附少，有利于物料的表面分析。 5.2 真空获得 抽真空：获得真空的过程，也叫排气。 5.2.1 真空泵简介 真空泵：获得真空的设备。 前级泵：能使气压从一大气压开始变小的真空泵；出口压力1atm 次级泵：只能从较低的气压抽到更低的气压的真空泵；出口压力1atm 极限真空度：真空系统在排气足够长的时间后所能达到的真空度。 抽速：规定气压下单位时间抽出的气体体积。 获得真空的基本方法： 1、利用机械运动排走气体； 如活塞运动、转子运动等。 2、利用高速蒸气流排走气体； 3、利用吸附使气体由气相变为固相； 如分子筛吸附泵、低温吸附泵 4、利用低温冷凝气体； 利用液态氮，可得到温度为4k的极冷表面，而液氨可得到20k的低温表面。气体如O2、CO、H2O等打到此表面上后立即失去热量并立即凝固，分子不断打到冷表面，空间分子密度不断下降。 真空泵按工作特点可分为两类： 1、传输泵：把气体直接或间接传输到大气中，又分容量泵和动量泵。 容量泵：往复式、滑阀式、旋转式。 动量泵：分子泵、喷射泵。 2、捕集泵：将气体暂时或永久贮存在泵中，不排到大气。 如吸附泵、升华泵、低温泵。 真空泵简介： 1、往复式真空泵 可获得粗真空；103Pa 2、水蒸气喷射真空泵 10-1Pa 3、滑阀式真空机械泵 7×10-2Pa 4、油真空增压泵 实际上是一种喷射泵 10-2 5、机械增压泵 10-2Pa 6、涡轮式分子真空泵 10-6Pa 7、复合式钛离子真空泵 10-7Pa 8、分子筛吸附泵 10-2Pa 9、溅射离子泵 10-6Pa 10、低温泵 液氨致冷 10-8Pa 液氮致冷 10-11Pa 机械泵：利用机械旋转造成吸气和排气获得真空 机械泵结构图 5.2.2 旋片式真空泵 1） 结构 旋片式机械泵主要由进气口、定子、转子、翼片、排气阀等组成。如图！ 1 排气管，2进气管， 3 外壳，4 排气阀 5 真空泵油， 6 定子， 7 转子 8 翼片，9 弹簧 2）工作原理 有害空间的存在影响泵的极限真空度； 抽可凝性气体时需装气镇阀。 3）注意事项 （1）机械泵装机位置要便于观察、清洗、换油； （2）停止工作时应向泵中放入干燥空气； （3）不能反转； （4）不能有硬物落入泵中； （5）不能混入易蒸