电子显微学解析.docVIP

前沿 材料科学与工程中最常用的微观组织分析手段 光学显微分析术 优点: 观察表面形貌、易操作、结果解释很直接 缺点: 分辨率低 (0.2(m)、不能进行成分和相分析 X-ray diffraction 优点: 进行相分析、高精度、给出平均效果 缺点: 不能看到图像、不能进行微区分析 电子显微镜 优点: 高分辨: TEM (1?)， SEM (4?）能够在一台仪器上同时进行图像观察 (BF, DF, HREM), 结构分析 (SAD, CBED), 成分分析 (EDS) 和电子结构分析 (EELS) ，可以进行微区分析 (~nm3)。 缺点: 只能给出局部信息、非常昂贵 (US$:0.1-1million)、结果解释不直接、操作复杂、样品不易制备。 透射电镜 (TEM) 电子束穿过薄样品。由于入射电子束与样品交互作用，透过的电子束携带结构和成分信息。 可以进行 组织观察 (明场、暗场、高分辨) 相分析 (选取衍射、纳米束衍射、汇聚束衍射) 成分分心 (EDS, EELS) 电子结构分析 (EELS) 分辨率： 1? 样品： 薄样品 (10-100nm) 能谱（EDS）——成分分析: 从元素Be (Z=4) 到 U (Z=92) 、元素分布 汇聚束电子衍射—— （CBED）晶体结构对称性、厚样品、应变 电子能量损失谱 (EELS)——分析化学成分 从 H (Z=1