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防静电技术 1 概述 物体的静电的起电--放电(ESD)一般具有高电位、强电 场和宽带电磁干扰等特点。 与常规电能量相比,静电能量虽然比较小,但瞬间的功率 十分巨大。 不仅有瞬间大电流集中传输,导致易燃易爆物质的燃烧爆 炸,而且还会形成强电磁脉冲,产生频谱很宽的电磁辐射场, 对微电子设备造成电磁干扰和浪涌效应。 在静电起电--放电的过程中,ESD参数是不可控的,是一 种难于重复的随机过程,因此,他的作用往往被人们所忽视。 人体上带不同的静电电压时,静电放电的电流波形 从图中可以看出,静电放电过程,其峰值电流可达数十 安培,实验室利用ESD模拟器和电流靶可以观测到数百安培 的静电放电电流,其电磁辐射场可在附近导线上感应出数百 伏乃至上千伏的电压。 由于微电子技术的发展和广泛应用,静电防护工程研究 逐渐由原来重点研究静电放电引起燃烧爆炸之类灾害事故的 防护,转向重点研究静电放电辐射场引发的电磁干扰及相关 危害。 静电放电(包括接触放电和空气放电)对电路的干扰以及对 元器件影响,特别是对场效应器件(CMOS电路)造成的破坏,越 来越引起人们的重视。因而控制系统的静电抗扰度便成了一项重 要的电磁兼容性(EMC)指标。 产生静电的原因大致有二 : 1)静电感应 如果一个带电体靠近一个中性导体,那么静电场会使 中性导体上处于平衡状态的电荷分离。在距离带电体最近的 导体表面上出现与带电体上电荷极性相反的电荷,而在距离 带电体最远的导体表面上出现与带电体上电荷极性相同的电 荷。如雷雨云底部分布着大量的电荷,它们产生静电场,在 雷雨云所覆盖的地面和各类导体上便会感应出与雷雨云底部 电荷相反符号的电荷。 2)摩擦起电 两种物体互相摩擦时。由于电子和离子的亲和性不同, 会在两个物体间引起电子和离子的移动,形成一方带正电 荷,一方带负电荷,当两物体分开时,会使一部分的正电荷 与负电荷再度结合,但最后残留一部分电荷。残留电荷量 大,则静电量也愈大,这种残留的电荷由该物体的绝缘性决 定。 物体带电顺序表 电子的移动方向 质地不同的工作服和内衣摩擦时人体带电电压(kV) 工作服和内衣摩擦时发生的静电是人体带电的主要原 因,质地不同的工作服和内衣摩擦时人体带电电压如表所示。 人体各部位所带的静电是不均匀的,一般认为以手腕侧的电位 最高。 因塑料地面或盛器产生的静电电压测量值 几点基本概念 1) 静电是一种发生在材料表面上的现象。电荷存在于材料 的表面上,而不是材料的内部。 2) 绝缘体上的电荷只能保持在产生它的区域,并不会分布在 材料的整个表面上。正因为如此,绝缘体的接地并不能减少 电荷。 3) 因为绝缘体上的电荷不能自由移动,所以电荷不会引起 静电放电。但绝缘体上的电势会在导体上感应产生电荷。 4) 静电损坏都是通过导体(包括人体潮湿的皮肤)引起的。 5) 人体是最主要的静电放电源头。 6) 任何带电物体都很容易将自己所携带的电荷转移到导电 的人体皮肤层上。 2 人体的静电模型(HBM) 一个物体上所积累的电荷储存在该物体的电容中。 通常,我们总认为只有在两个平板之间才会有电容, 实际上所有的物体都有自己的自由空间电容,无非第二 个平板(指地球)无限大而已。这个电容也就是物体可 有的最小电容。 即使是不规则形状的物体,它的自由空间电容主要取 决于其表面积的函数。 人体的电容和电阻 一个人体在自由空间中的电容约为50Pf。除此以 外,人体电容还包括脚底与地面之间的电容(约 100Pf)。 如果人体接近墙壁等周围的某些物体,还会增加 50Pf~100Pf的电容。所以人体电容等于人体自由空间 电容与平板电容之和,大小在50Pf~250Pf之间变化。 人体电容也可用下列经验公式表示: C=0.55H+0.008KA/t 式中:H——人体高度(cm); K——鞋底材料的介质常数; A——两只鞋底的总面积(cm2); t——鞋底厚度(cm)。 人体电阻是非线性的,其值约在500Ω~1,000Ω之 间,它和人体产生放电的位置有关。 若手指尖放电,人体电阻约为10,000Ω; 若手掌放电,人体电阻约为1,000Ω; 若在手持的金属物体上放电,人体电阻约为500Ω; 若放电发生在较大的金属物体上,人体电阻可以减 小为50Ω。 此外,影响人体电阻的因素还有皮肤表面的水分、 盐和油、皮肤接触面积和压力等。
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