利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 43 10 红外与激光工程 2014 10 Vol.43 No.10 Infrared and Laser Engineering Oct.2014 利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形 马鑫雪 ，王建立 ，王 斌 ( 中国科 学院长春光 学精 密机械 与物理研 究所 ，吉林 长春 130033) 摘 要： 为 了验证相位恢复波前传 感器 系统波前检 测的能力 ， 搭 建 了基 于相位 恢复测量方 法的波前 传 感器检 测球 面镜 面形 的 实验平 台。 该平 台结构 简单 ，抗震动 ，可 以在对光路 不进行任何 改变的前提 下 ，利 用成像 系统上 已有 的相机 对整 个光 学 系统进行在位检 测 。为 了验证相位恢复波前传 感器测量方 法的准确性 ，将相位 恢复 波前传 感 器测量 结果 与 ZYGO 干 涉仪 测量 结果进行 比较 ，实验 结果表 明在 面形误 差分布及误 差的峰谷值(PV)和方均根值(RMS)上 ，两者具有极 大的相似性 ，所 以利 用相位 恢复 波前传 感器技 术能有效地检 测 出球 面镜 的面形误 差 。 关键词： 相位恢复 ； 波前传 感器 ； 球 面镜 面形 ； 泽尼 克 多项式 ； 像 差 中图分类号： TP391.4 ； TH703 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014) 10-3428-06 Spherical mirror estimation using phase retrieval wavefront sensor technology Ma Xinxue, Wang Jianli , Wang Bin (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033 , China) Abstract : In order to verify the estimated wavefront ability of the phase retrieval wavefront sensor (PRWS) system, a measured spherical mirror of experiment platform with the method of PRWS was set up, whose structure was simple and there was little affection of the platform and even can be ignored, even use the camera of the imaging system to estimate the whole optical system without changing anything. In order to validate the veracity of PRWS, PRWS measurement results were compared with ZYGO interferometer