预处理效应对1064nm反射膜本征损伤性能的影响.pdfVIP

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2016-05-08 发布于安徽
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预处理效应对1064nm反射膜本征损伤性能的影响.pdf

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43 卷 6 期红外与激光工程 2014 年6 月 Vol.43 No.6 Infrared and Laser Engineering Jun.2014 预处理效应对 1 064 nm 反射膜本征损伤性能的影响 1,2 1,2 1,2 1,2 詹光达，马彬，张艳云，马宏平 (1. 同济大学精密光学工程技术研究所，海 200092 ；， 2. 先进微结构材料教育部重点实验室海 200092) 摘要激光预处理技术能够有效提升光学元件的激光损伤阈值。以1 064 nm 波长作用下的HfO /SiO 2 2 高反射薄膜为研究对象，研究了单一能量密度梯度和多能量密度梯度的N-on-l、R-on-l 和光栅扫描激光预处理技术对薄膜本征损伤性能的影响，并采用1-on-1 测量法对不同预处理技术的预处理效果进行了对比分析。实验结果表明：1-on-1 测量曲线中的损伤几率数据、拟合直线参数以及损伤阈值的相对不确定；度能够比较全面地反映测量结果的重复性 N-on-1 式下多能量密度梯度的预处理效果要优于单一能量密度梯度，但多梯度之间以及单一梯度之间的效果差异并不明显；当薄膜的零几率损伤阈值难以继续提升时，继续增加能量密度梯度将仅能改善薄膜非零损伤几率的性能。；；；；关键词 HfO /SiO 高反射薄膜激光预处理本征损伤损伤阈值 1-on-1 2 2 中图分类号 O484.4 文献标志码 A 文章编号 1007-2276 (2014) 06-1715-07 Influence of laser conditioning effects on intrinsic damage property of high reflection film at 1 064 nm Zhan Guangda1,2, Ma Bin1,2, Zhang Yanyun1,2, Ma Hongping1,2 (1. Institute of Precision Optical Engineering , Tongj i University , S