多自由度微陀螺结构参数对其动态性能影响分析.pdfVIP

第３５卷第 １１期　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 哈　 尔　 滨　 工　 程　 大　 学　 学　 报　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｖｏｌ．３５ №．１１ ２０１４年１１月　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｈａｒｂｉｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｎｏｖ．２０１４ 多自由度微陀螺结构参数对其动态性能影响分析 郝燕玲，刘博，胡钰 （哈尔滨工程大学 自动化学院，黑龙江哈尔滨 １５０００１） 摘　 要：为了解决多自由度微机械陀螺结构设计中存在的参数耦合问题，提出了一种基于增益和带宽最优化的参数设定 方法。 为了从结构设计和参数限定的角度提高单轴微机械振动陀螺的性能指标，分析了多自由度单轴微机械振动陀螺 的参数对于陀螺性能的影响。 为了抑制低频环境噪声对于输出信号的影响，陀螺的驱动需要在高频率范围内进行操作。 通过理论推演得到在高操作频率下陀螺结构设计中广泛存在于峰值间隔频率、操作频率、阻尼与陀螺性能之间相互制约 的内在关系。 结合其设计原则，设计出的微机械陀螺带宽为２００Ｈｚ、增益提高了５ｄＢ，能满足绝大多数工程应用的要求。 关键词：多自由度；微机械陀螺；峰值间隔频率；操作频率；空气阻尼 ｄｏｉ：１０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００６⁃７０４３．２０１３０７００３ 网络出版地址：ｈｔｔｐ：／ ／ ｗｗｗ．ｃｎｋｉ．ｎｅｔ／ ｋｃｍｓ／ ｄｏｉ／ １０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００６⁃７０４３．２０１３０７００３．ｈｔｍｌ 中图分类号：Ｕ６６６．１２　 文献标志码：Ａ　 文章编号：１００６⁃７０４３（２０１４） １１⁃１３７８⁃０６ Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ｍｕｌｔｉｐｌｅ ｄｅｇｒｅｅ ｏｆ ｆｒｅｅｄｏｍ ＭＥＭＳ ｇｙｒｏｓｃｏｐｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｎ ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ＨＡＯ Ｙａｎｌｉｎｇ，ＬＩＵ Ｂｏ，ＨＵ Ｙｕ （Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ，Ｈａｒｂｉｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｒｂｉｎ １５０００１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏ ｓｏｌｖｅ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍ ｏｆ ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｔｒａｄｅｏｆｆ ｉｎ ｍｕｌｔｉｐｌｅ ｄｅｇｒｅｅｓｏｆ ｆｒｅｅｄｏｍ （ＤＯＦ）ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉ⁃ ｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ （ＭＥＭＳ）ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ，ｔｈｅｍｅｔｈｏｄｏｆｇｌｏｂａｌｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｇａｉｎａｎｄｂａｎｄｗｉｄｔｈｉｓｐｒｏｖｉｄｅｄｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ． Ｔｏ ｉｍｐｒｏｖｅ ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ＭＥＭＳ ｖｉｂｒａｔｏｒｙ ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｄｅｓｉｇｎ ａｎｄ ｔｈｅ ｌｉｍｉｔａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ，ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｎ ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ ｉｓ ａｎａｌｙｚｅｄ． Ｔｏ ｒｅｄｕｃｅ ｔｈｅ ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｔｈｅ ｌｏｗ⁃ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ ｎｏｉｓｅ ｏｎｔｈｅ ｏｕｔｐｕｔ ｓｉｇｎａｌ，ｔｈｅ ｇｙｒｏｓｃｏｐｅ ｎｅｅｄｓｔｏ ｂｅ ｄｒｉｖｅｎ ｉｎｔｈｅｈｉｇｈｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｒｅｇｉｏｎ． Ｔｈｅ ｉｎｔｅｒｎａｌ ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｓｂｅｔｗｅｅｎ ｐｅａｋ ｓｐａｃｉｎｇｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，ｏｐｅｒａｔｉｎｇｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，ｄａｍｐｉｎｇ ａｎｄ ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍ⁃ ａｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｗｅｒｅ ｄｅｒｉｖｅｄ ｂｙ ｐｒｅｃｉｓｅ ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｓ．Ｔｈｅ ｐｒｏｐｏｓｅｄ ｇｙｒｏｓｃｏｐｅ ｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄｗｉｔｈ ｔｈｅ ｂａｎｄｗｉｄｔｈ ｏｆ２００ Ｈｚ ａｎｄｔｈｅ ｇａｉｎ ｉｓｉｎｃｒｅａｓｅｄｂｙ５ ｄＢ，ｗｈｉｃｈ ｃａｎ ｓａｔｉｓｆｙ ｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｏｆ ｍｏｓｔ ｐｒａ