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43 卷 8 期 红外与激光工程 2014 年8 月
Vol.43 No.8 Infrared and Laser Engineering Aug.2014
飞秒激光与硅的相互作用过程理论研究
1,2 1 1
邵俊峰 ,郭 劲 ，王挺峰
(1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室，
长春吉林 130033 ；2. 中国科学院大学，北京 100049)
摘 要 理解超短激光与材料的相互作用过程与机理是开展超短激光加工等工程应用的基础。首先
引入电子激发项、双光子吸收、俄歇复合项等改进双温，使其较准确地适应于飞秒激光与半导体硅材
料的相互作用过程。然后，分析了热损伤效应和“非热”损伤效应的影响。最后，开展了双脉冲飞秒激
光与硅的相互过程研究，并分析了电子密度、晶格温度对于损伤积累效应的影响。理论模型得到单脉
2 ；当入射能量密度大于 2
冲激光损伤阈值为0.25 J /cm ，此时主要表 为热损伤 0.53 J /cm 时，主要表
为“非热”损伤。双脉冲激光作用表明，脉冲间隔不大于100 ns(激光重频 10 MHz)表 出明显的热积
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累效应，并显著降低损伤阈值。此时，第一个脉冲造成的电子密度升高( 臆10 /m ) 对损伤的贡献较小；
而第一个脉冲引起的晶格温升将导 极高的电子激发以及晶格温升( 逸800 K) ，对损伤起主要贡献作
用。该研究对于激光微加工、激光防护等领域具有参考意义。
； ； ； ；
关键词 双温模型 非热损伤 损伤积累 飞秒激光 单晶硅
中图分类号 TN249 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2014)08-2419-06
Theoretical research on dynamics of femto-second laser ablation
crystal silicon
1,2 1 1
Shao Junfeng , Guo J in , Wang Tingfeng
(1. State Key Laboratory of Laser Interaction with Matter Changchun Institute of Optic
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