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第44卷第6期 红外与激光工程 2015年6 月
Vol.44No.6 InfraredandLaserEngineering Jun. 2015
飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究
1,2,3 1,4 1 1
蔡建文 ，潘雪涛 ，张美凤 ，孟 飞
(1. 常州工学院光电工程学院，江苏 常州213002；2. 常州现代光电技术研究院，江苏 常州 213002；
3. 常州市光电子材料与器件重点实验室，江苏 常州213002；
4. 上海大学 机电工程与自动化学院，上海200072；)
摘 要院飞秒激光微加工中焦点光斑横向光场的分布直接影响到激光微加工的精度、分辨率和表面
粗糙度等。利用激光束空间整形技术对激光束聚焦光斑进行调制，基于横向超衍射理论和优化算法进
行了研究和分析，完成了一种0-仔结构四环横向相位板的设计。该相位板归一化半径为r=0.16、r=1 2
0.27、r=0.49，获得的峰值能量S、焦斑尺寸G 、旁瓣能量M 分别为0.38、0.74、0.20。并且基于该相位
3 T T
板在激光微加工系统中进行了一种光致变色材料的相位板加入前后的对比加工实验，实验结果表明，
在飞秒激光微加工系统中使用这种相位板可以有效地减小加工点的尺寸大小。
关键词院横向超分辨； 飞秒激光； 微加工
中图分类号院O644 文献标志码院A 文章编号院1007-2276(2015)06-1790-04
Transverse spot superresolution in femtosecond laser
microfabrication
1,2,3 1,4 1 1
Cai Jianwen , Pan Xuetao , Zhang Meifeng, Meng Fei
(1. School of Photoelectric Engineering, Changzhou Institute of Technology, Changzhou 213002, China;
2. Changzhou Institute of Modern Photoelectric Technology, Changzhou 213002, China;
3. Changzhou Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Devices, Changzhou 213002, China;
4. School of Mechatronical Engineering and Automation袁Shanghai University, Shanghai 200072, China)
Abstract院In femtosecond laser micromachining lateral distribution of the focus light spot directly affe
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