MIDast
Peva-900E Manual
Advanced System Technology
16 Kuangfu S. Rd., Hsinchu Industrial Zone,
Hukou Town, Hsinchu County
Tel: 886-3-5983833
Fax: 886-3-5978606
Customer’s Service :0800-678008
.tw EB83
Advanced System Technology
聚昌科技股份有限公司
【目錄】
1簡介 …………………………………………………………1-1
1.1操作前注意事項 ……………………………………………...1-1
警告 …………………………………………………………...1-1
1.2
1.3保固及售後服務 ……………………………………………...1-1
1.3.1 保固 ………………………………………………………1-1
1.3.2售後服務 …………………………………………………1-2
1.4 系統接地………………………………………………………1-2
1.5 危險……………………………………………………………1-2
1.5.1請勿在有爆炸性場所使用系統 …………………………1-2
1.5.2請勿在活線下作業 ………………………………………1-2
1.5.3請勿獨自做維修或調整 …………………………………1-3
1.5.4請勿使用替代的元件或修改本系統元件 ………………1-3
1.5.5 維修E-Gun或拆燈絲座時 請作接地處理, ……………..1-3
2.週邊配製圖……………………………………………………….2-1
2.1 機台Layout圖 ………………………………………………...2-1
2.1.1 機台正視圖………………………………………………2-1
2.1.2 機台上視圖………………………………………………2-2
I
Advanced System Technology
聚昌科技股份有限公司
2.1.3 機台左視圖………………………………………………2-3
2.2水氣電需求 …………………………………………………...2-4
2.3硬體介紹 ……………………………………………………...2-5
3.開關機步驟 ……………………………………………………….3-1
3.1
開機步驟 ……………………………………………………...3-1
關機步驟 ……………………………………………………...3-2
3.2
3.3緊急停止 ……………………………………………………...3-2
4.介面軟體操作說明……………………………………………….4-1
4.1 系統登入(Login)……………………………………………...4-2
4.2 主畫面………………………………………………………...4-3
4.3自動再生 ……………………………………………………...4-7
4.4 製程參數……………………………………………………...4-8
4.5膜厚計參數 …………………………………………………...4-9
4.6 溫度 PID……………………………………………………..4-10
4.7 製程執行…………………………………………………….4-10
4.8
您可能关注的文档
- ArcGISEngine的高级开发技术分析报告.pdf
- ArcGIS高级制图培训-详细版本分析报告.pdf
- ArcGIS农村土地承包经营权建库高效解决方案20150614分析报告.pdf
- ArcGIS新技术与水利行业应用分析报告.pdf
- ArcGIS移动GIS应用解决方案概览2015版分析报告.pdf
- ArcGIS移动解决方案和应用赏析分析报告.pdf
- ArcGIS中地图显示与符号化分析报告.pdf
- ArcPad应用及开发分析报告.pdf
- Armstrong分析报告.pdf
- ASTER遥感影像在土地利用调查的应用分析报告.pdf
- 2026年汽车芯片行业供需缺口动态监测与国产化技术发展报告.docx
- 2026年新能源海洋能行业技术发展商业化现状评估.docx
- 2026年新能源储能市场应用规模技术路线发展深度报告.docx
- 2026年奶茶连锁品牌供应链管理报告.docx
- 2026年增稠剂行业市场趋势深度分析.docx
- 2026年化学传感器行业技术壁垒与竞争态势分析.docx
- 工业互联网平台竞争策略对比分析:树根互联与阿里云2026年生态构建差异化路径.docx
- 2026年新能源智能微电网行业数字化转型的实施路径报告.docx
- 2026年氢能重卡政策环境与补贴机制研究.docx
- 2026年全球风电并网技术合作趋势报告.docx
原创力文档

文档评论(0)