E-gun900E分析报告.pdf

MIDast Peva-900E Manual Advanced System Technology 16 Kuangfu S. Rd., Hsinchu Industrial Zone, Hukou Town, Hsinchu County Tel: 886-3-5983833 Fax: 886-3-5978606 Customer’s Service ：0800-678008 .tw EB83 Advanced System Technology 聚昌科技股份有限公司 【目錄】 1簡介 …………………………………………………………1-1 1.1操作前注意事項 ……………………………………………...1-1 警告 …………………………………………………………...1-1 1.2 1.3保固及售後服務 ……………………………………………...1-1 1.3.1 保固 ………………………………………………………1-1 1.3.2售後服務 …………………………………………………1-2 1.4 系統接地………………………………………………………1-2 1.5 危險……………………………………………………………1-2 1.5.1請勿在有爆炸性場所使用系統 …………………………1-2 1.5.2請勿在活線下作業 ………………………………………1-2 1.5.3請勿獨自做維修或調整 …………………………………1-3 1.5.4請勿使用替代的元件或修改本系統元件 ………………1-3 1.5.5 維修E-Gun或拆燈絲座時 請作接地處理， ……………..1-3 2.週邊配製圖……………………………………………………….2-1 2.1 機台Layout圖 ………………………………………………...2-1 2.1.1 機台正視圖………………………………………………2-1 2.1.2 機台上視圖………………………………………………2-2 I Advanced System Technology 聚昌科技股份有限公司 2.1.3 機台左視圖………………………………………………2-3 2.2水氣電需求 …………………………………………………...2-4 2.3硬體介紹 ……………………………………………………...2-5 3.開關機步驟 ……………………………………………………….3-1 3.1 開機步驟 ……………………………………………………...3-1 關機步驟 ……………………………………………………...3-2 3.2 3.3緊急停止 ……………………………………………………...3-2 4.介面軟體操作說明……………………………………………….4-1 4.1 系統登入(Login)……………………………………………...4-2 4.2 主畫面………………………………………………………...4-3 4.3自動再生 ……………………………………………………...4-7 4.4 製程參數……………………………………………………...4-8 4.5膜厚計參數 …………………………………………………...4-9 4.6 溫度 PID……………………………………………………..4-10 4.7 製程執行…………………………………………………….4-10 4.8