第二章微系统设计技术基础(2-1)_683303683要点解析.pdf

微系统设计与系统集成技术 （2015年版，课件2-1） 清华大学精密仪器系 张高飞 Tsinghua University Zhang Gaofei 第二章微系统设计技术基础  本章介绍的主要内容包括： 微系统制造技术分类 微系统常用材料及其特性 微加工基本工艺 微系统工艺流程设计 Tsinghua University Zhang Gaofei §2.1 微系统制造技术分类  微系统制造方法  制造方法的选择取决于微系统本身的材料、结构和 构造形式，不同结构和构造形式的微系统可以用不 同的加工方法来制造。  目前在全世界范围内被公认的微系统制造技 术大致分成以下三类:  超精密机械加工制造技术  LIGA工艺制造技术  硅工艺制造技术 Tsinghua University Zhang Gaofei §2.1 微系统制造技术分类  超精密机械加工制造技术  以日本技术为代表，来源于成熟的传统制造原理的微系统制 造方法，其得益于日本多年来精密机械加工技术的发展和超 精密机械加工水平上的优势。  制造原理与传统机械加工区别不大，只是对加工制造的精度 要求提高了许多，比如：普通的机械加工精度一般为10m以 上，精密机械加工的精度一般可以达到10m以下，而超精密 机械加工的制造水平可以达到1m以下。  对于微系统的制造来说，就是设法用大机械制造小机械，小 机械制造微机械。 Tsinghua University Zhang Gaofei §2.1 微系统制造技术分类  超精密机械加工制造技术  大机械制造小机械，小机械制造 微机械的这种加工方法在理论上 可以制造出任何形状的微型零件。  主要特点是：可用的材料比较多， 能加工的零件尺寸范围宽 （微米 以上尺度的零件都可以加工）， 并且可以制造十分精致的复杂形 状，但制造成本相对比较高，不 太适合大批量的低成本制造，无 法与微电子电路实现单片集成制 造。 Tsinghua University Zhang Gaofei §2.1 微系统制造技术分类  LIGA工艺制造技术  这种微系统制造方法来源于德国，以德国为代表，由德国喀尔 斯鲁厄市的德国喀尔斯鲁厄核技术研究中心发明。  LIGA本身的含义就是由以下德文的首字母构成  Lithograpie(光刻)  Galvanoformung( 电铸)  Abformung(铸塑) 。  LIGA工艺制造技术包括光刻、电铸或铸塑这三个主要的工艺过 程。  LIGA制造技术类似于金属铸造加工的过程，可以用来制造许多 非硅基底的微结构，可使用的材料也相对比较广泛。 Tsinghua University Zhang Gaofei §2.1 微系统制造技术分类  LIGA工艺制造过程 光刻- 电铸 光刻-铸塑 Tsinghua University Zhang Gaofei §2.1 微系统制造技术分类  LIGA工艺制造技术的特点 