kdp晶体微纳加工表层杂质对其激光损伤阈值影响的有限元分析.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ ７ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．７ 　 　 年 月 ， ２００８ ７ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊｕｌ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８０７１１８２０５ 　 犓犇犘晶体微纳加工表层杂质对其激光 损伤阈值影响的有限元分析 陈明君， 庞启龙， 刘新艳 　 　 （哈尔滨工业大学 精密工程研究所，哈尔滨 １５０００１） 摘 要： 根据 ＫＤＰ晶体杂质附近的温度场及热应力场理论，分析了微纳加工表层杂质影响下晶体温度 　　 　 　 场及热应力场的分布情况，发现杂质离子对激光的强吸收作用是造成 ＫＤＰ晶体损伤的主要原因之一，也是影 响ＫＤＰ晶体激光损伤阈值的最主要因素。通过分析还发现杂质半径对晶体的激光损伤阈值也有影响，并得到 一个有害的杂质半径，使得杂质吸收能量最多，温度最高。另外杂质种类及杂质含量的不同也会对晶体的激光 损伤阈值产生影响。 关键词： ＫＤＰ晶体； 激光损伤阈值； 微纳表层杂质； 有限元分析 　　 　 　 　 　 中图分类号： Ｏ７７５ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 ＫＤＰ晶体生长过程中加入的有机络合剂 ＥＤＴＡ及加工过程中所使用的冷却液均含有大量杂质离子，因 　　 此 ＫＤＰ晶体微纳表层在生长、加工制备过程中，不可避免地都会带有杂质。ＫＤＰ晶体对激光的本征吸收很 ［］ １ 小，杂质对激光的吸收比晶体的本征吸收高出几个数量级 ，杂质对激光的强吸收是 ＫＤＰ晶体损伤的重要原 ［ ］ ２５ 因 。文献［］指出， 连续激光对光学材料的损伤形貌是局部有缺陷炸裂点，这正是杂质缺陷吸收热量产 ６ ＣＯ２ 生损伤的表征。杂质离子的存在，不仅会产生强吸收，而且对 ＫＤＰ晶体的光散射现象和透过率等光学性质均 有影响，杂质离子对晶体光学质量的影响，直接导致对 ＫＤＰ晶体激光损伤阈值的影响。中国科学院上海光学 ［ ］ ７８ 精密机械研究所做的关于杂质导致光学材料损伤的实验表明 ，光学材料的激光损伤形貌往往是杂质处局部 熔坑或炸裂。 本文从光学晶体的杂质吸收理论出发，建立了微纳加工表层含有杂质的ＫＤＰ晶体有限元模型，并以此模 　　 型为基础分析了ＫＤＰ晶体中杂质离子尺度大小、杂质离子种类等因素对晶体激光损伤阈值的影响，将进一步 揭示晶体材料的激光损伤机制，为其激光损伤阈值的提高提供相应的理论基础，并为 ＫＤＰ晶体超光滑表面的 获取提供理论基础和参数依据。 １ 仿真模型的建立 　 激光辐照含有杂质的ＫＤＰ晶体表面，由于ＫＤＰ晶体的吸收很小，引起的温度变化不大，但由于杂质对入 　　 射激光能量的强烈吸收，造成杂质处局部高