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电子元器件可靠性物理 中国电子电器可靠性工程协会 费庆宇 Tel. 010 北京市南三环东路27号C1108 第一讲 失效物理的概念 失效的概念 失效定义 1 特性剧烈或缓慢变化 2 不能正常工作 失效种类 1 致命性失效：如过电应力损伤 2 缓慢退化：如MESFET的IDSS下降 3 间歇失效：如塑封器件随温度变化间歇失效 失效物理的概念 定义：研究电子元器件失效机理的学科 失效物理与器件物理的区别 失效物理的用途 失效物理的定义 定义：研究电子元器件失效机理的学科 失效机理：失效的物理化学根源 举例：金属电迁移 金属电迁移 失效模式：金属互连线电阻值增大或开路 失效机理：电子风效应 产生条件：电流密度大于10E5A/cm2 高温 纠正措施：高温淀积，增加铝颗粒直径，掺铜，降低工作温度，减少阶梯，铜互连、平面化工艺 失效物理与器件物理的区别 撤销应力后电特性的可恢复性 时间性 失效物理的用途  1 失效分析：确定产品的失效模式、失效机理，提出纠正措施，防止失效重复出现 2 可靠性评价：根据失效物理模型，确定模拟试验方法，评价产品的可靠性 可靠性评价的主要内容 产品抗各种应力的能