静电防护技术要点解析.ppt

静电防护技术 什么是静电 静电是一种电能，他存留于物体表面，是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果，是通过电子或粒子的转换而形成的。 静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩擦起电、人体起电等现象。 静电应用 静电喷涂 静电纺织 精电分选 静电成像 静电复印 静电的危害 第一个阿波罗载人宇宙飞船中，由于静电放电导致爆炸，使三名宇航员丧生； 火药制造过程中由于静电放电(ESD)，造成机毁人亡的事故时有发生； 在电子工业中，随着集成度越来越高集成电路的内绝缘层越来越薄，互连导线宽度和间距越来越小，其相应耐击穿电压越来越低。 集成电路耐击穿电压举例 CMOS器件绝缘层厚度典型厚度约为0.1mμ，耐击穿电压80～100V VMOS器件绝缘层更薄，击穿电压30V。而在电子产品制造中以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS器件的击穿电压，造成器件硬击穿或软击穿（器件局部损伤）。 制定防静电标准 各国制定标准或规定 对静电敏感元件的设计、制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运输等均有相应规定 我国参照国际标准制定了军用和企业标准，例如有航天部、机电部、石油部等标准 电子产品制造中的静电源 (1) 人体静电 人以衣服、鞋、袜等物体之间的摩擦、接触和分离等产生的静电是电子产品制造中主要静电源之一。 人体活动产生静电电压约0.5～2kV。 空