工艺实验设备.pdf

工艺实验设备 原值500 万以上的对外提供共享服务的大型科学仪器设备总 量为535 台（套），其中工艺实验设备的数量为88 台（套），占总 量的 16. 4%。工艺实验设备中，电子工艺实验设备53 台（套）， 加工工艺实验设备15台（套），化工、制药工艺实验设备11台（套）， 汽车工艺实验设备7 台（套），其他2 台（套）。 61/77 62/77 工艺实验设备/88 台（套） 序号 中文名称 型号规格 产地 单位名称 所在地 1 轧机系统 按照设备需要 中国 重庆市科学技术研究院 重庆 2 真空自耗电弧熔炼炉 L360P1 德国 西北有色金属研究院 陕西 3 高温烧结炉 1300-2036-WW 美国 西北有色金属研究院 陕西 4 电子束熔炼炉 2/50/500 德国 西北有色金属研究院 陕西 5 挤压机 16.3MN 中国 西北有色金属研究院 陕西 6 电子束曝光机 2013066 美国 国家纳米科学中心 北京 7 高压单晶生长系统 MR2550 英国 中国科学院半导体研究所 北京 8 金属有机物气相外延系统 D125 美国 中国科学院半导体研究所 北京 9 金属有机物气相淀积系统 3X2GaN 英国 中国科学院半导体研究所 北京 10 分子束外延 EPI-Gen-II 美国 中国科学院半导体研究所 北京 11 分子束外延设备 Veeco GEN II 美国 中国科学院半导体研究所 北京 12 分子束外延系统 MODULAR GEN II 型 美国 中国科学院半导体研究所 北京 13 8 片MOCVD 外延生长系统(8 片) AIX24000G3 IC 中国 中国科学院半导体研究所 北京 14