激光干涉仪用途要点.pdfVIP

简介 以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度 测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20 世纪60 年代中期出现的,最 初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970 年出现的， 它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325 帕、 −7 相对湿度59 ％、C O2 含量0.03 ％）下的测量精确度很高，可达1 ×10 。 工作原理 一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对 于分光镜移动，形成变化长度测量光束。 从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm ，长期波长稳定性（真 空中）优于0.05ppm 。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束 (3) 。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探 测器中形成干涉光束。 如果两光程