第三讲连续薄膜的形成(陈).pptVIP

 晶核相互吞并机制 晶核相互吞并机制-Ostwald吞并 Ostwald吞并过程热力学 熔结过程：两个相互接触的晶核相互吞并的过程 决定表面取向的Wullf理论 决定表面取向的Wullf理论 表面能和薄膜表面取向 决定表面取向的Wullf理论 决定表面取向的Wullf理论 决定表面取向的Wullf理论 薄膜的生长与薄膜结构 薄膜生长的晶带模型 薄膜生长过程中，原子的沉积过程包含三个过程：即气相原子的沉积或吸附，表面扩散以及体扩散过程。 上述过程均受到过程的激活能的控制，因此薄膜结构的形成将与沉积时的衬底相对温度Ts/Tm以及沉积原子自身的能量密切相关。 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以溅射方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以溅射方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以溅射方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以溅射方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以溅射方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以溅射方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.1 薄膜生长的晶带模型 以蒸发方法为例，讨论沉积条件对薄膜结构的影响 2.5.2 薄膜密度 沉积后的薄膜密度一般低于理论密度，其变化遵循以下规律： 随着厚度增加