第4章_机械量检测技术详解.ppt

第4章 机械量检测技术 4.1 长度位移测量 4.2 速度加速度测量 4.3 振动测量 4.4 力的测量 4.5 噪声测量  4.1长度位移测量 我国和国际的长度单位是米。在1983年第十七届国际计量大会上正式通过米的新定义如下： “米是光在真空中1／299792458秒的时间内所经过的距离。” 4.1.2 长度量值传递 目前，在实际工作中常使用下述两种实物基准：量块和线纹尺。首先由稳定激光的基准波长传递到基准线纹尺和一等量块，然后再由它们逐次传递到工件，以确保量值准确一致。 4.1长度位移测量 4.1.3 长度测量的标准量 标准量:体现测量单位的某种物质形式，具有较高的稳定性和精确度。 光波波长：直接使用米定义咨询委员会推荐使用的五种激光和两种同位素光谱灯的任一种来复现。 4.1长度位移测量 量块:由两个相互平行的测量面中心之间的距离来确定其工作长度的一种高精度量具。 量块是单值量具，可以组合使用。 量块的公称尺寸和实测尺寸。 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 量块的精度分级又分等 量块按制造精度分为0、1、2、3、4级，其中0级精度最高， 按检定精度分为1、2、3、4、5、6等，其中1等精度最高。 4.1长度位移测量 量块“等”和“级”之间的关系是： （1）对研合性及平面平行性偏差规定为：l、2等与0级，3、4等与1、2级，5、6等与3、4级分别相同。 （2）“等”和‘级”可以代替使用。 例如，0、1、2级量块的中心长度制造极限偏差分别与3、4、5等量块的中心长度测量极限误差相同，因此，0、l、2级量块可分别代替3、4、5等量块来使用。 4.1长度位移测量 光栅、容栅的栅距和感应同步器的线距 ①测量效率高； ②容易实现数字显示和自动记录， ③可以实现测量自动化和自动控制。 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 阿贝原则：为了保证测量的准确，应使被测零件的尺寸线(简称被测线)和量仪中作为标准的刻度尺(简称标准线)重合或顺次排成一条直线。符合阿贝原则的测量，可尽量减小导轨直线度误差对测量结果的影响。 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 近十年来发展了一种不用游标读数的新型卡尺，即数显卡尺（又称为电子卡尺），数显卡尺的测量范围为O～150 mm，分度值为 0.01 mm，测深为 0～115 mm。数显卡尺的电子部分装有存储器、置零装置和公英制换算装置。 表类量具 原理 将测量杆微小直线位移通过适当的放大机构放大后而转变为指针的角位移，最后由指针在刻度盘上指示出相应的示值。 光学比较仪（光学计） 是一种精度较高的光学机械式计量仪器。光学比较仪用作相对法测量，先用量块或标准件对准零位，被测尺寸和量块（或标准件）尺寸的差值可在仪器的刻度尺上读得。 光学比较仪由光较仪管和支架座组成。光较仪管可以从仪器上取下，装在其它支架座上，做其它精密测量之用。 4.1长度位移测量 4.1.10 位移测量 电感式位移传感器 4.1长度位移测量 基本形式 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 电感位移传感器 4.1长度位移测量 电感位移传感器 4.1长度位移测量 光栅位移传感器（Grating） 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 光栅传感器特点 ①精确度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″ ②量程大：透射式---光栅尺长（1米），反射式---几十米 ③响应快：可用于动态测量 ④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失 ⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动精度 ⑥成本高：电路复杂 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 莫尔条纹细分技术 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 圆光栅传感器 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 光学干涉（Interference） 4.1长度位移测量 双频激光干涉位移传感器 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 激光干涉位移传感器 4.1长度位移测量 4.1.11光电编码器 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 增量码光电编码器 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 电涡流测距 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 激光测距传感器 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 超声测距 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.1长度位移测量 4.2速度加速度测量 4.2速度加速度测量 4.2速度加速度测量 4.2速度加速度测量 4.2速度加速度测量 4.2