现代加工技术化学加工.重点分析.ppt

2.1.5腐蚀 * 　　经固膜后的金属版，放在腐蚀液中进行腐蚀，即可获得所需图像。 腐蚀坡度 例如腐蚀锌版，其保护剂是由磺化蓖麻油等主要成分组成。 　　腐蚀铜版的保护剂由乙烯基硫脲和二硫化甲脒组成，在三氯化铁腐蚀液中腐蚀铜版时，能产生一层白色氧化层，可起到保护侧壁的作用。 腐蚀坡度形成原理 侧壁保护机 另一种保护侧壁的方法是有粉腐蚀法，其原理是把松香粉刷嵌在腐蚀露出的图形侧壁上，加温熔化后松香粉附于侧壁表面，也能起到保护侧壁的作用。此法需重复许多次才能腐蚀到所要求的深度，操作比较费事，但设备要求简单。 2.2应用 （1）印刷工业上印刷版的制作 （2）用于诸如微电子技术、计算机技术等的各种印刷电路、集成电路、柔性印刷电路、各类高导磁铁芯片的微细加工。 （3）复制传统加工方法难以获得的复杂图案、花纹、文字等的加工。 2.光刻加工的原理和工艺 (1）光刻加工的原理、特点和应用范围 光刻是利用光致抗蚀剂的光化学反应特点，将掩膜版上的图形精确的印制在涂有光致抗蚀剂的衬底表面，再利用光致抗蚀剂的耐腐蚀特性，对衬底表面进行腐蚀，可获得极为复杂的精细图形。 光致抗蚀剂，由感光树脂、增感剂（见光谱增感染料）和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明