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第一章 简 介
1.1 引 言
MJS5C型激光干涉仪, 特别适用于数控机床的螺距补偿。本说明书会帮助你尽快掌握激光干涉仪的各种测量方法、操作步骤以及简单故障查找、排除。尽管我们的举例集中在机床上的各种测量, 但是你可以扩展到其他各个领域。
MJS5C型激光干涉仪, 多种参数的测量是通过使用不同的光学附件来实现。因此操作者必须了解激光干涉仪的各种不同附件(模块)功能。
1.2 MJS5C型激光干涉仪
配上各种不同附件,MJS5C可进行以下测量:
长度 角度
平面度 直线度
垂直度 光栅、磁栅、感应同步器的精度等
下图是配上长度附件的连接示意图,可进行长度测量,用于数控机床的螺距补偿。
1.3 MJS5C型激光干涉仪部件名称及其主要用途(表1-1)
编 号 部 件 名 称 主 要 用 途 MJS 5200
激光头组件 新款紧凑型产品,包含原MJS5130测量信号处理器和MJS5230激光头,产生带有位移信息的测量信号,并对信号进行处理,采集数据送给计算机 MJS 5300 三角架 调整测量光束与导轨运动方向平行 MJS 5410 长度附件 用于长度测量,可用于数控机床的螺距补偿 MJS 5420 角度附件 用于小角度测量 MJS 5430 平面度附件 用于平板平面度测量 MJS 5440 短直线度附件 用于0.1M~3M直线度测量 MJS 5441 长直线度附件 用于1M~10M直线度测量 MJS5442 直线度安装附件 用于机床直线度安装及竖直方向直线度测量 MJS 5450 垂直度附件 用于垂直度测量 MJS 5460 波长补偿器 用于激光波长的自动补偿,修正测量数据 MJS 5480 打印机 用于打印测量数据和误差曲线 MJS 5490 计算机 用于数据处理和显示 表1-1
第二章 准备及保养
2.1安全保护
MJS5C型激光干涉仪(低于1mW)的He-Ne激光器, 操作者无需特殊的安全保护措施(如保护镜等)。但有一点提醒操作者注意, 操作者或
任何人不能使激光直接射入自己的肉眼。
工作时,激光头内有高压,非专业人员严禁打开激光头外盖。
2.2 仪器存放和保养
MJS5C型激光干涉仪, 不使用时应存放在恒温恒湿的房间里。否则, 光学件表面会产生霉点, 严重时会导致仪器无法工作,仪器闲置不使用时,应该一个月以内至少通电一次,每次两小时。要保持光学件的清洁,手勿接触镜面,如果不小心弄脏了光学件表面,可以用镜头纸或棉花蘸无水酒精小心擦拭,并用洗耳球吹干。
三角架云台中的导轨和丝杠需定期添加机油,以防生锈。
2.3 安装及通电
仪器安装之前, 操作者应该认真阅读说明书, 特别是6.4.2节(光路调整)。
仪器的工作电源为220V±10%、50HZ三相交流电源,地线必须保证接入大地,且接地良好。若电源网络电压波动大于220V±10%, 应接入交流稳压源,如同时使用波长补偿器,应保证放置传感器的机床或其它位置处无漏电和静电产生, 以避免仪器损坏或不能正常工作。凡因操作不当引起的仪器损坏不在保修范围。
第三章 MJS5200激光头组件
3.1 简介
MJS5200激光头组件是新款紧凑型产品,它包含原MJS5130测量信号处理器和MJS5230激光头,主要由稳频控制器、激光器组件、准直及分光系统、测量信号接收器、参考信号接收器、数据处理系统等组成。激光头组件的工作电源由电源适配器提供,参考信号和测量信号经光电接收放大后,通过数据处理系统经USB口输出到笔记本电脑。只有当激光频率被稳定时,参考频率的信号才能产生。而测量信号的产生,除了激光频率稳定外,还需要测量光学件的正确调整。
下图是MJS5200激光头组件的供电图:
3.2 稳频控制器
稳频控制器是控制激光输出频率的稳定,为干涉仪提供精确的激光波长。当激光频率稳定时,激光组件输出两个偏振光。干涉仪激光波长的当量值均以激光频率为基准。
3.3 激光器组件
激光器组件由He-Ne激光器、激光电源以及分光器件等组成。激光器使用寿命25000小时以上,功率0.6mw - 1.0mw。激光电源工作电压最高达8000V,工作电流约4mA。
3.4 准直光学系统
从激光器组件输出的激光,具有一定的发散角,为保证有足够的测量范围,需要
用准直系统把激光束变成较好的平行光。
3.5 参考信号接
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