02 第二章 激光干涉测量技术(下).ppt

直接散斑：由粗糙表面的散射光干涉而直接形成的 成像散斑：经过一个光学系统，在它的像面上形成的 散斑，也称为主观散斑。 散斑大小粗略地对应于干涉条纹间隔；当照明区域为圆形时，散斑亦为圆形，若照明区域增大，有更多面积元上散射的光波参与干涉，照明区域对该散斑的孔径角增大，所以散斑变小了。若照明区域不是圆形而是椭圆形，所成的散斑亦是椭圆形。 * 二、散斑干涉测量技术 被激光照射的粗糙物面在透镜的像面上形成散斑图，此方法称散斑照相。同全息一样, 散斑照相并不能提供测量的一些信息。如果利用全息技术记录某一时刻的散斑信息, 利用变化前后形成的散斑干涉, 可以进行测量工作。 散斑干涉技术: 在散斑图的基础上,外加一相干的参考光,例如平面波，球面波甚至另一粗糙的散斑场形成的组合散斑场的技术。 应用: 测量位移、应变、振动、物面的变形和粗糙度等。 光学方面：检验感光材料的分辨率，测定透镜焦面位置及焦距等；医学方面：视力检查；天文学方面：揭示星体的构造和超巨星的亮度分布等。 * 1. 测量纵向位移的散斑干涉技术 通过观察散斑的明暗变化次数,可以测量纵向位移 当H为全息干板，曝光周期大于振动周期时,在节点处，光强和相位不变化，其他位置，光强和相位发生变化，所以在节点处，高对比度，其他位置对比度下降，可以测量振幅及振动模态。 * 2.测量横向位移的散斑干涉技术 参考光与物光以相同夹角入射， 方向关于z对称。当物面沿z向变化时，物光与参考光的相位变化一致，不产生额外相位差，散斑不变化；当物面有x，y方向变化时，光程变化为： 为进行实时观察，把经过处理的底片放回原来的位置，抑制来自明亮散斑区的光，视场呈均匀的黑色。 由于光程差的出现引起散斑亮度发生变化，于是底片就与散斑花样不匹配而出现透射光，因此可以确定测定表面各个区域的变形情况。 * 三、电子散斑干涉测量技术（ESPI） 电子散斑技术：用视频摄像系统代替照相处理，用电子技术和计算机技术代替光学记录技术。 特点：原始的散斑干涉场由光电器件（一般为CCD探测器）转换成电信号记录下来，用电子技术方法实现信息的提取，形成的散斑场可以直接显示和保存，操作简单、实用性强，自动化程度高，可以进行静动态测量。 普通散斑技术的特点：与全息类似，需要干板记录，条纹的计数和判向与传统干涉类似，但可以测量较粗糙的表面。 * CCD感受的光强为参考光与物光相位差的余弦调制 变形前，物光束在像面上的复振幅 参考光复振幅 成像面上的合成光强 * 变形后，离面位移造成物光复振幅 成像面上的合成光强变为 为表面离面位移的函数，散斑干涉图的变化情况反映 了物面的变化情况。 ESPI采用图像相减技术来提取有关离面位移，即 的信息。 的位置，两散斑图完全相同，相减后光强为零 的位置，相减后散斑成像出最大的对比度和 最大的平均亮度。 物体表面分布着与 有关的条纹，这种条纹反映出两次散斑干涉光强之间的相关性，称为“相关条纹”。 * 图像相减是否会出现负值？ 四、散斑干涉测量技术的应用 1.测量表面粗糙度 用二次曝光法连续在同一张底片上记录入射角为 处理后的底片放在聚焦激光束中，在焦平面上观察由两个记录在底片上的斑点产生的干涉条纹，用狭缝和光电探测器测量这些条纹的对比度 * 粗糙表面同时被从激光器射出经干涉仪分开成一定角度的两束相干激光照明，照射到被测表面后按一定角度产生两束散射光，在双光束干涉仪里产生干涉，并在透镜L的焦平面P上形成散斑图样。 * 2.测量内孔的表面质量 仪器包括三部分：探头转动式激光扫描仪、安装被测缸筒的滑道和信息接收与处理系统。 * 优点: 纤芯 包层 保护套 1.传输频带宽、通讯容量大 2.传输损耗低 3.灵敏度高 4.体积小、质量轻 5. 抗化学腐蚀 6. 可弯曲 §2.6 激光光纤干涉测量系统 应用：航空/航天（飞机与航天器各部位的压力、温度测量、光纤传感、光纤陀螺） 石油化工（液面、流量、井下温度、压力测试） 电力工业（高压输电网的电流、电压测量） 医疗（血液流速、血压测量） * 一、 光纤干涉仪的概念 原理：光纤中的光波导在经过被测物理量所构成的调制区时，会由于调制区域被测物理量的作用而使光波导的光强、波长、频率、位相及偏振态等特性发生变化，产生调制，经过特定的干涉结构，将这些调制信息转换成强度信息的干涉图样。由此可以测量位移、流体速度、压力、磁场、液温、辐射、电压（高压）、电流（大电流）等许多依靠传统干涉仪无法测量的物理量。 * 项目 传统光学系统 光纤测量系统 灵敏度 小 大 稳定性 一般, 易受环境影响 较差，最易受环境影响 操作性 较差，可调点多 好，可调点少，仅调节物光束 体积 结构复杂，光路复杂，体积大 结构简单，体积小，重量轻，光路简单 光纤干涉测量系统与传统光学系统的对比