TiO2基异质结的研究最终版.docVIP

毕 业 论 文  TiO2 基异质结的研究 Study of TiO2-based Heterojunction 专业班级：学生姓名：指导教师：系 别： 摘 要 TiO2是一种直接宽带隙半导体材料。TiO2薄膜具有大的折射率和介电常数，在可见光和红外波段具有良好的透过率，及良好的耐磨性和热稳定性，因而被广泛的应用于光学薄膜，微电子器件和保护涂层。异质结是两种不同的半导体相接触所形成的界面区域，由于两种异质材料具有不同的物理化学参数， 接触界面处产生各种物理化学属性的失配，使异质结具有许多不同于同质PN结的新特性。要实现这些优良性能的广泛应用，首先要获得性能良好的TiO2异质结。本论文在总结了国内外Si基异质结的发展和TiO2薄膜的研究历史及研究现状的基础上，系统研究了TiO2基异质结的电学特性。以磁控溅射法制备高质量N型TiO2薄膜，测得光学带隙随氧氩比变化，不同氧氩比，不同压强和不同温度的情况下的N型TiO2/P型Si的最佳整流特性曲线。 关键词：异质结；TiO2薄膜；磁控溅射 Abstract TiO2 is a kind of wide direct-gap semiconductor material. TiO2 thin films have large refractive index and dielectri