FM67001危险有害因素调查表H05生产部扩散.docVIP

XX公司危险有害因素调查表 部门：生产部扩散 填表人： 审核: 日期：2009.03.30 No. H05 项次 对象地点 作业活动/设施 危害因素 N/A/E 可能性和后果 控 制 措 施 扩散 换源 石英源瓶破裂 E 源泄漏至净化厂房引起人员中毒 A、拆装前/后检查源瓶是否破损，破损瓶弃用； B、规范操作，轻拿轻放 C、停送风、开抽风，紧急疏散人员； D、戴过滤式防护面罩 扩散 换源 进出气管拆反 A 源泄漏至净化厂房引起人员中毒 A、现场进出气管设置标识 B、戴过滤式防护面罩 C、操作区设置拆装示意图 D、停送风，开抽风紧急疏散人员 扩散 换源时残液收集 大量BBr3、POCl3接触水 A 爆炸、灼伤 A、保持换源柜清洁干燥； B、缓缓倾倒 C、源溅出时，将源转移到干燥的强抽风处，人员撤离。 扩散 换源 抽风停止 E 源气挥发导致中毒 A、戴过滤式防护面罩 B、关紧操作窗口，停止作业 C、通知空调班恢复抽风 D、紧急疏散人员 扩散 换源 换源未戴防护用具 A 源泄漏换源人员吸入中毒,接触中毒 A、配过滤式防护面罩、手套 B、按规定换源时须两人在场； 扩散 洗炉管 酸接触人体 A 化学灼伤 A、穿戴防护用品 B、用水大量冲洗后，敷药 扩散 洗炉管 拆装与清洗时石英炉管破裂 A 割伤或砸伤 A、拆装前检查炉管有无破损，破损弃用 B、双人搬运 扩散 洗炉管 石英炉管搬运过程中碰撞 A 割伤或砸伤 A、双人搬运 B、提前开好通道的门 扩散 换气态源 阀门开关失误特气误排 E 燃烧、爆炸 A、一人操作一人确认 B、气柜设置管路图 C、设置阀门开关标识 扩散 换气态源 排空截止阀失效特气泄露误排 E 燃烧、爆炸 A、换气后保压测试 B、更换失效阀门 项次 对象地点 作业活动/设施 危害因素 N/A/E 可能性和后果 控 制 措 施 扩散 换气态源 气柜内管路泄漏 E 人员吸入中毒 A、设置排风标识 B、安装漏气检测装置 C、设立班查 扩散 换气态源 钢瓶移动时倾倒 A 砸伤 规范操作 扩散 扩散炉 氢气泄漏 E 爆炸 A、H/O比例保护 B、点火温度保护 C、通氮气保护 D、炉口强制排风 扩散 扩散炉 特气泄漏，车间有害物质浓度超标 E 职业危害 A、炉口强制排风 B、设置压力保护装置 C、设备漏率检查 扩散 扩散炉 扩散炉超温 E 设备事故 A、设置温度报警 B、设置超温报警并有连锁装置 C、定期守炉巡视 扩散 扩散炉 出炉硅片取放 N 烫伤 A、用工具取放 B、定时取放 扩散 扩散炉 炉口抽风不足车间有害物质浓度超标 N 职业危害 A、设置抽风标识 B、定期检查 扩散 油泵 油泵返油 N 炉内着火 装防返油装置 扩散 扩散炉 PM后氢气/氧气点火无保护 E 爆炸 A、H/O比例保护装置 B、PM初始程序增加点火保护程序 扩散 P5000 维修、保养腔室时候温度高 A 烫伤 温度降到50℃以下作业 扩散 WJ1000 加HF 未戴防护用具 A 化学灼伤 戴手套操作 备注：危险有害因素辨识方法： 用JHA（工作危害分析）；识别每一步骤中的危险危害因素和可能的事故；在现场观察工作：与操作者讨论研究；运用自己对这一项工作的知识；与安全专家探讨，请教；与有关的安全规程对比；回忆过去的事故。 版次:1.0 编号：FM-67-001 备注： N-正常作业 A-异常作业 E-紧急/意外事件 P-过去 C-现在 F-将来