应用物理学杂志要点解读.docVIP

应用物理学杂志 卷90 第7期 2001年10月1日 在微型比例平版印刷机中运用物理原理控制图样的精确度 Anton A. Darhuber and Sandra M. Troian a 微流体动力学研究室，化学工程部，普林斯顿大学，普林斯顿，新泽西08544 西哥德.瓦格纳 化学工程部，普林斯顿大学，普林斯顿，新泽西08544 （2001年3月7日收到，2001年6月4日出版） 我们已经研究了胶印中液态聚合物暴露于紫外线光并固化到平面未成形的硅和玻璃基板中。相互作用的毛细管,粘性,粘附力为主导的动态油墨在特征尺寸小，低毛细管数下转移。对于平滑和无孔的基板,图形拟真度因为墨水接触线自由地迁移到衬底并与板分离而得到修正。结合使用的实验和平衡模拟,我们已经可以辨认物理机制控制油墨转移和模式保真度。考虑到这种技术对分辨率的限制,会出现具有动力学特征的墨流和再分配的在动态转移过程中没有明确依赖于绝对的特征尺寸, 但只有膜厚特征尺寸的纵横比? 2001美国物理学研究所。[@DOI:10.1063/1.1389080] 目录 I.介绍 1 II.印刷版的制造 2 III. 图案几何学和油墨沉积 3 IV. 墨层厚度的均匀性 4 A. 毛细管放松的时间尺度 4 B. 影响模型的几何体 5 V. 油墨转移过程 7 A. 在准静态油墨转移中表面能量的影响 7 B. 控制板分离 7 C. 在板分离下接触线的运动 9 VI.模拟固定 13 VII. 总结 14 致谢 15 参考文献 16 I.介绍 通过接触印刷的油墨转移是最常用的技巧对于图形和印刷复制尤其是大批量印刷的报纸和书籍。这种技术对于图像转移的固有优势在于快速的图像传输的吞吐量和在大部分区域同步并行处理。目标基板通常是灵活的，并且可以从卷轴到卷轴进行加工,。商业印刷设定的分辨率，定义以40毫米为最小线宽的打印图像。相比之下,半导体器件的模型是由光刻法生产,它提供了一个横向分辨率低于100纳米。这个模型通常定义为一个连续并且分布重复暴露的个别领域,直到整个表面半导体晶片得到处理。随后,裸露的光致抗蚀剂层是浸入在一个显影剂中,然后晒干,接着作为一个图像传输层蚀刻或选择性物质沉积。光致抗蚀剂层的模式转移后必须是剥离的晶片。虽然这个可行的分辨率比传统的接触印刷数量级要小，但是这项技术在仿造领域是唯一可行在规定的每平方英寸内. 对于大面积电子应用,如发光显示器,所需的分辨率为20mm*20mm。这种特征尺寸可以在没有光刻下通过使用接触或非接触直接模式方法来实现。这些都是为了转移功能材料如导体或只在基板所期望位置的电阻器,从而消除任何沉积后模式的步骤[1,2]。直接写像喷墨打印方法已用于制造有机发光二极管接触到硅基薄膜晶体管(TFTs)[3]。Garnieret al[4]和Bao et al [5,6]通过丝网印刷制造有机TFTs。 库马尔和Whitesides[7]通过微触印刷将烷基硫醇模版印在黄金表面。Mikami et al.[8]和Leppavuori et al.[9]通过使用混合凹印抵消技术打印到照相平版印刷的面具，并用TFT处理。 Gleskova et al.采用激光碳粉图案作为蚀刻掩模来制备TFTs [10]。Walton et al.采用印刷导电模式用在像聚乙烯和标准胶印法的纸的柔性基板上[11]。 在本文中,我们目前的实验和数值模拟,阐明了在少量毛细管数下微尺度特征尺寸直接印刷的物理机制管理模式的精确度。我们使用胶印转移模式的紫外光(UV)-固化聚合物平面，像玻璃或氧化硅晶圆无孔隙的基板。传统的胶印涉及使用一个喷泉的解决方案涵盖了非成象区域的印刷板和一个依附在成像区域但不能混合的墨水。一个毯辊可以作为中介进行图像传输。在我们的研究中,胶印是指直接转移的液体从一个光滑、刚性、化学表面图案到光滑、刚性和未成形的基板,而无需使用毯辊或喷泉的解决方案。 这种类型的印刷过程包括五个主要步骤:制作印刷板、调剂的液体油墨到图案衬底[12], 图案设计的修改,确保液体涂料的均匀[13],油墨转移印刷后模式固定。在下面对我们说的每个步骤进行评定,以确定关键机制影响模式保真度。用数值模拟静态平衡油墨表面可以通过SURFACE EVOLVER来执行[14],这是一个能量最小化软件，计算液体平衡构象给定体积、几何边界条件,表面能量相关,液固液态空气,空气固体界面。引力是可忽略的因为无量纲的15号粘合剂是极其小的对于特征尺寸在几十微米范围内。 II.印刷版的制造 对于凹版及凸版印刷，液体油墨是通过表面的起伏而局限于成像区域的印刷板中。墨水不是因为凹版印刷而驻留在凹槽，就是在凸版印刷中的顶上停留。