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MEMS课程部分总结 M Micro-  E Electro- M Mechanical- S System * * MEMS与纳米技术课程总结 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University 卢德江 王海容 djlu@mail.xjtu.edu.cn whairong@mail.xjtu.edu.cn Tel:149 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, XJTU --------“Microelectron Technology Applied to Electronical Mechanical System” 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University 1 What’s MEMS? 国际电技术委员会 （International Electrotechnical Commission) “微系统是微米量级内的设计和制造技术。它集成了多种元件，并适应于以低成本大量生成。 综合表述： MEMS是由微加工技术制