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第三激光衍射测量技术精要.ppt

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六、直径和薄带宽度测量 1.漆包线激光动态测径仪 作用:漆层厚度变化造成漆包线外径的变化将显示在测量仪的显示器上,从而实现人工调整涂漆参数,保证涂漆质量。 为避免CCD探测器饱和,扩大CCD动态范围,将零级条纹挡去。 CCD输出信号处理 低通滤波:在保证信号不失真前提下尽可能降低截止频率 例:若CCD像素2048,数据时钟1MHz,在设计结构时保证CCD能接收2~4个条纹,则每个条纹周期T=2048/4=512μs。考虑到CCD接收的信号是非周期的,实际应用中采用二阶巴特沃思低通滤波,截止频率取10×1/T。 暗点识别:为得到精确的测量结果必须对信号衍射图样进行精确的识别,包括以下两方面: ( 1) 能自动识别出一帧CCD 信号衍射图样中暗点的个数; ( 2) 能精确地定位每个暗点对应的位置; 存在困难:因为被测细丝的直径有一定的分布范围, 衍射图样变化很大, 且衍射图样中暗点锐度很小。 衍射图样中暗点数的识别:一般地, 采用扫描法逐点扫描衍射图样来识别暗点数。理论上, 在顺序扫描时如果某一点满足下面两个条件就可认为是一个暗点: ( 1) 当前点的值比前一点值小; ( 2) 后一点值比当前点值大 由于很多不确定因素的存在, 使得待识别的信号在局部区域内不是光滑连续的。直接采用上面的算法将导致识别失败, 为此改进算法如下: ( 1) 采用中值滤波对信号作平滑处理; ( 2) 用滑动窗口内信号的平均值来代替单点值扫描衍射图样; 采用非线性中值滤波的目的在于消除信号中尖峰干扰(主要由量化引入) , 保证局部范围内信号的平滑, 但必须合理选择滤波器的宽度否则达不到目的。用滑动窗口内信号的平均值来代替单点值扫描识别衍射图样, 可以消除信号小范围波动对识别的影响,增强暗点识别的可靠性。 识别暗点数同时可以得到暗点的粗略位置( 扫描到一个暗点时记下它的位置) 。由于识别时对信号作了非线性处理, 而且扫描是由滑动窗口完成的, 因而此时得到的暗点位置是很粗糙的, 远远达不到测量精度要求, 必须进一步精确指定暗点位置。对暗点的精确定位是基于下面三个前提: ( 1) 衍射图样的分布符合一定的数学关系; ( 2) 精确的暗点位置必定在已得到的粗略暗点位置附近; ( 3) 粗略暗点附近的原始数据在统计意义上包含着暗点真正位置的信息; ( 1) 在识别暗点数的同时记录粗略的暗点位置; ( 2) 在粗略暗点位置附近取一定数目的原始数据, 运用最小二乘法来拟合原始数据, 得到一条光滑的曲线; ( 3) 以一定的步长搜索拟合后的曲线, 得到曲线上暗点的准确位置, 如果步长小于象素尺寸就具有细分效果; 基于这样的前提, 可以在已知粗略暗点位置附近, 充分利用原始数据中的信息来寻找暗点的准确位置。这部分算法可以描述如下: 2.薄带宽度测量 要求:薄带相对激光束的光轴有准确的定位,否则引起测量误差 3.转镜扫描式激光测径仪 4.狭缝扫描式激光测径仪 转镜扫描式测径仪是由测量条纹间距s值求得细丝直径 狭缝扫描式测径仪是通过测量特定级条纹的xk值来求直径 七、红细胞激光衍射测量 通过细胞的衍射图样来分析病变 通过面阵CCD接收衍射图样,求出红细胞的变形指数和取向的变化、衍射光强的径向分布曲线等,根据计算结果来判断病变情况。 衍射:波在传播途中遇到障碍物而偏离直线传播的现象 第三章 激光衍射测量技术 §3.1 激光衍射测量原理 波:声、光、电磁、机械波 障碍物:大小、形状对现象均有影响 现象:与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关 光的波长短, 对很小的孔/屏、狭缝/细丝才有明显的衍射现象;激光出现后,衍射现象才实际应用到测量;1973年,Canada国家研究所T. R. Pryer 提出了激光衍射测量的方法。 特点: 全场,非接触,稳定性好,自动化程度高,精度高 一、 菲涅耳和夫琅禾费衍射 按光源、障碍物/衍射物、观察屏三者之间的位置关系划分为菲涅耳衍射和夫琅禾费衍射 (2)夫琅禾费衍射/远场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为无限远 (1)菲涅耳衍射/近场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为有限远 夫琅禾费衍射是本章进行衍射测量的基本原理 菲涅耳和夫琅禾费衍射 常用光路: 二、单缝衍射测量 (一) 单缝衍射测量原理 观察屏上的光强分布: 单缝衍射的特点: 测定任何一个暗条纹的位置就可以精确知道被测间隙的尺寸 1)中央明纹最亮、最宽,它的宽度为其他各级亮纹宽度的两倍; 2)次级亮纹的光强随级次的增加而逐渐减小; 3)若光程差不等于λ/2 的整数倍时,亮度介于最明与最暗之间; 4)衍射条纹平行于单缝方向; 5)暗条纹β=kπ即 由远场衍射条件有 由暗条纹现的公式知: (二) 单缝衍射测量的基本公式 由 ,对第k个衍射暗条纹有 当θ不

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