第八章表面检测技术分析.ppt

1．显微硬度测试 （1）显微硬度测试原理。显微硬度测试是在显微镜下进行的低负荷(＜200g)压入式的硬度试验方法。显微硬度根据所使用的压头的不同有维氏显微硬度和努氏显微硬度等。下表为显微硬度压头的比较。 维氏硬度 努氏硬度 金刚石角锥压头 金刚石菱形压头 相对面夹角136o 长边夹角 相对变夹角 短边夹角130o 压痕深度 压痕深度 （2）显微硬度计算公式。显微硬度的符号、单位和计算公式列于表8-9。在显微硬度测量试验时，要依据被测试样的硬度和厚度合理选择试验力，当在覆盖层表面进行硬度试验时，所采用的试验力应当使压痕的深度小于覆盖层厚度的十分之一，即维氏硬度测量时，覆盖层的厚度至少为对角线平均长度的1.4倍；努氏硬度测量时，覆盖层的厚度至少为长对角线长度的0.35倍。图8-20为维氏压头的最大可用试验力与覆盖层厚度的关系。 符号 测量单位 说明 维氏 努氏 F N 试验力/N 试验力/N D 压痕两对角线长度和的算术平均值 压痕对角线长度 HV - HK - 图8-20维氏显微压头的最大可用试验力与覆盖层厚度的关系 随着科学技术的发展，要求对极薄的器件薄膜或特殊的微区位置进行纳米级硬度测量。纳米压痕技术（如nanondentation，又称连续记录压痕，超低负荷压痕技术），是采用高分辨率的仪器，连续控制和监测薄膜的硬度和弹性模量的技术。目前纳米压痕系统