光电干涉检测技术与系统干涉检测技术是以光波干涉原理为基础进行.doc

光电干涉检测技术与系统 干涉检测技术是以光波干涉原理为基础进行检测的一门技术。与一般的光学检测技术相比，干涉加成技术具有更高的测试灵敏度和准确度，绝大部分的干涉检测都是非接触式的，不会对被测件带来表面损伤和附加误差。由于应用激光器、现代光电技术、信号处理技术和计算机技术实现了高分辨率、高准确度的相位细分，不仅进一步提高了干涉检测技术的检测灵敏度和准确度，还扩大了量程范围，在精密测量、精密加工和实时测控等诸多领域获得广泛应用。 经典干涉理论是分析光的干涉的基础，同时也是现代相干理论和现代光电干涉系统的基础。 绝大多数现代干涉系统的光学原理和结构都是在经典理论和干涉仪的基础上发展起来的，以下是一些典型的光学干涉系统 迈克尔逊干涉仪 现代光电干涉检测技术与系统 现代光电干涉检测技术是光干涉理论和现代光电检测技术、信号处理技术、计算机技术和自动控制原理的综合应用。激光的出现开创了光干涉检测技术飞速发展的新时代，激光干涉测量被广泛地用于长度、角度、微观形貌、光谱等领域。现代光电干涉检测技术正朝着以下几个方面发展：所用光源涵盖了从微波到紫外的所有波段；探测器探测灵敏度和响应度也有了极大提高；在信号处理方面，在适应环境、消除噪声、误差修正处理、测量数据速度和可靠性等方面有明显提高；光学系统的集成和小型化有明显进展。下图为光电干涉检测系统的基本结构。 典型的光电干涉检测技术 1. 迈克尔逊干涉仪测位移 该系统是在迈克尔逊干涉实验装置基础上改装，用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作平台，固定干涉仪一臂移动另一臂，通过检测等倾条纹的中央条纹的强弱变化得到工作台的位移改变量，具有高的稳定度，定位精度可达纳米量级。 2. 菲索型干涉仪 菲索型干涉仪分为平面型和球面型，使用时要用到参考平面，平面型可用来测量被测平面平行度及瑕疵类型。球面型可用来测量球面面型误差及球面曲率半径。 3. 激光散斑干涉检测技术 当一束激光射到物体的粗糙表面上时，反射光会在物体前面的空间叠加产生明暗相间的亮斑和暗斑，由于它们分布是杂乱的，故称为散斑（Speckle）。 被激光照明的粗糙物面在透镜的像面上形成散斑图，此法称为散斑照相。若这时另外加一个相干的参考光，该参考光可以是平面波、球面波或另一粗糙面的散斑场，这种组合散斑场的技术称为散斑干涉术。用参考束型、双光束型、双光阑型或剪切型记录下干涉场的特征，进而可以用散斑干涉技术测量纵向位移、横向位移、圆柱内孔表面质量及粗糙表面的平整度。 干涉光谱技术 按照分光原理，光谱仪器可以分为三类：棱镜光谱仪、光栅光谱仪和干涉光谱仪。干涉光谱仪的分辨率高、灵敏度高，广泛应用与众多科学领域。干涉光谱技术是利用干涉图与光源光谱图之间的对应关系，通过测量离散干涉图并对干涉图进行傅里叶积分变换计算，反演得到光谱图，从而获得光谱信息。与传统色散型光谱仪相比，傅里叶变换光谱仪以其波数的高精确度、杂散光影响小、高分辨本领、测量光谱范围宽、数字化、测量速度快、结构紧凑等众多优点引起科学界普遍关注，是分析物质原子和分子吸收、发射光谱的有效手段，有重要的应用价值。 白光干涉检测技术 白光干涉仪是一种非常有用且功能众多的光学测量仪器，它的测量精度可达到波长的几分之一，而其量程可以达到波长的好几个数量级。当干涉仪使用白光光源时，由于干涉条纹的零级条纹容易识别，所以传感系统可以输出一个被测物理量的绝对值。白光干涉的优点是稳定性好，外界扰动或光源输出功率的变化不影响测量结果，精度和分辨率高等。 6. 激光全息干涉检测技术 全息是指用相干光照射物体，用底片记录物光波的振幅和相位信息，通过再现，得到物体的立体像。运用静态二次曝光法、实时法、连续曝光法等即可实现对记录在底片上的物体三维信息与被测物体三维信息的比较，称为全息干涉检测技术。 全息干涉检测能够对任意形状和粗糙表面的三维表面进行测量，测量不确定度可到波长数量级；同时可以从不同视角观察一个形状复杂的物体，也可以测试一个时间段内物体位置和形状的变化。全息干涉检测的缺点是测量范围较小，变形量为几十微米。 7. OCT技术 OCT技术（Optical Coherence Tomography光学相干层析技术)，是基于低相干干涉的原理，系统的基本结构是迈克尔逊干涉仪全光纤式迈克逊干涉仪宽带光源发出的光经过50/50的耦合器分为两路，一路为参考臂，一路为样品臂。参考臂的光经由参考臂光学系统入射到参考反射镜，经参考反射镜反射回到耦合器。样品臂的光经过样品臂光学系统入射到被测量的样品，样品的散射光再返回到耦合器与参考光发生干涉，由探测器接收其干涉信号。在深度方向的扫描都是由移动参考反射镜的位置来实现，只有当样品臂和参考臂的光程差在相干长度之内才会发生干涉。光纤式的干涉仪更加的小型化，方便临床使用，所以OCT系统多采用这种形