Polycold的讲解.pptVIP

Polycold的讲解 林华 2006年12月11日 * POLYCOLD在镀膜机的作用 一功能： 1、在高真空系统中抽吸水汽，缩减抽空时间多达75%； 2、提高您现有真空系统生产能力的20%到100%； 3、改善镀膜的质量，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。 * 应用： 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。 * 使用过程—— 一、在高真空状态下，真空室内残余气体分子的65%到95%以上都是水分子以及水分子与其它气体分子的结合物，这些水汽分子是典型的最具副作用性的污染气体。以往常用的方法是，离子清洗和高温烘烤，但真空系统尤其是扩散泵系统对水蒸气抽速太低，而用昂贵的低温泵系统也仅仅吸附和掩埋掉真空室中的一部分水蒸气分子，高温烘烤也只是把水分子从基片表面迁移，使基片减少对水蒸气的吸附，而Polycold?深冷泵是将90%以上的水分子吸附在低温盘管（Cryocoil）的表面，并能吸附掉真空室内一部分油分子，如果在真空系统水冷阱的上面放置Polycold?冷阱，不仅能吸抽水汽，而且可以防止扩散泵返油。 * 二、 Polycold?快速循环水汽深冷泵（低温泵）采用了Polycold?公司专利的低温冷冻技术，其工作原理依然是麦斯纳（Meissner）吸收原理。使水汽分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上