数字式四探针解决方案.docVIP

3.3数字式四探针仪 本课题中硅薄膜的电阻率利用数字式四探针仪来测量。 3.3.1数字式四探针仪原理 对诸如棒状、块状半导体材料的进行测量，又诸如对形状为片状的半导体材料的电阻率进行测量以及对扩散层方块电阻的测量用的就是四探针的测量原理。 ????数字式四探针仪的工作电路由集成电路和晶体管电路组成，测量电阻率时很灵敏、很高的精细度、稳定性好，很紧凑的结构，测量结果直观可靠。本仪器使用的探头是由宝石导向轴套和高耐磨的合金探针组合在一起形成的，该探头在测量过程中产生的游移率非常小，使用寿命长，测量时定位准确，几乎不产生误差等特点。? ??半导体特性分析原理： 图示为四探针测试的原理： 3.3.1四探针测量原理图 四探针仪的探头上有四根金属探针成一字排列，当这四根金属探针以直线形式压在半导体材料上时，会在材料表面产生一定的压力，此时在探针与半导体材料之间就会产生电流，我们把通过1、4两跟探针之间的电流称为I，把在2、3探针之间的电位差称作V。? 根据公式，可得材料的电阻率为??? (-cm) (3.3-1) 式中的C为探针系数。 ?????????如果待测样品的电阻率是均匀分布的，且待测样品的条件满足尺寸半无限大时?? (3.3-2) ??式中： 、 、 分别为探针1与2，2与3，3与4间的间距，? ????????????????当 ?= =? =1?mm时，C=2π。? ?