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- 2016-11-24 发布于湖北
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模拟集成电路版图设计基础;目录;集成电路工艺基础;集成电路工艺基础;集成电路工艺基础;一、什么是版图?;二、版图的意义;三、版图与线路图、工艺的关系;四、版图设计的过程;四、版图设计的过程;;版图其实就是另一种形式的电路图,作为电路图最基本的有两大组成部分
1.器件(常见)
1 MOS管
2 电阻
3 电容
2.互连
2.2.1金属(第一层金属,第二层金属……)
2.2.2通孔
;NMOS; 1) NMOS管
以TSMC,CMOS,N单阱工艺为例
NMOS管,做在P衬底上,沟道为P型,源漏为N型
2) 包括层次:
NIMP,N+注入
DIFF,有源区
Poly,栅
M1,金属
CONT,过孔
3) MOS管的宽长确定;1) PMOS管
以TSMC,CMOS,N单阱工艺为例
PMOS管,做在N阱中,沟道为N型,源漏为P型
2) 包括层次:
NWELL,N阱
PIMP,P+注入
DIFF,有源区
Poly,栅
M1,金属
CONT,过孔
3) MOS管的宽长确定;反向器;电阻版图;1) 电容值计算C=L*W*C0
2) 电容分类:
poly电容
MIM电容
基于单位面积电容值
MOS电容
源漏接地,基于栅电容,C=W*L*Cox;2.1金属(第一层金属,第二层金属……)
1) 金属连线
M1,M2,M3,M4……
2.2 通孔
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