04第四章激光准直及多自由度测量详解.pptVIP

三、用激光准直仪制导镗内孔 * 多自由度测量的必要性: §4.5 激光多自由度测量技术 任何一个物体在空间都有六个自由度，即三个方向的平动和绕三个轴的转动 1.被加工工件的定位 2. 精密零部件的安装 3. 目标物体在空间的位置和姿态: 飞机、火箭等风洞实验 * 直角坐标机床的几何偏差 一、两自由度测量系统 * 平面型结构 反射型结构 测量参数：Δx，Δy 结构类型：1.平面式 2. 反射式 二、四自由度测量系统 测量参数：Δx，Δy， Δθx，Δθy * 主要结构类型：1.中心孔式 2. 分光式 3. 反射式 三、五/六自由度测量系统 1.五自由度 * 角锥棱镜具有对光束方向不敏感的特性，由其反射回的光束所得的位置信息可反映水平和垂直方向上的直线度误差；平面反射镜仅对光束的偏摆和俯仰敏感，从平面镜反射回的光束可得到两个角位移误差（Pitch error 和Yaw error） 经反射镜5、2、3反射回的光束携带有滚转角误差的信息（Roll error） * 直线度测量原理 角度测量原理 如f=250mm，PSD探测器分辨率1μm，则角度分辨率为0.4。 2. 全息法测量5自由度 * 原理：利用全息光栅的分光特性，在激光准直光束中加入一个全息光栅，进行五个自由度的测量。 全息光栅制作：利用具有平面波前的参考光束和具有球面波前