扫描式电子显微镜原理简介.pptVIP

四.影像侦测记录系统 扫描电镜可接收样品发出的多种信号成像，其中二次电子信号图像质量如分辨率、立体感、景深等方面都较好。 影像的产生 由灯丝释出的电子经过一系列电磁透镜后被聚成一细微的电子束照射在样品表面，并由扫描线圈使电子束在样品表面规则来回扫描。由于镜柱中的扫描状态与TV屏幕上的扫描同步，因此在样品表面上的每个扫描点，因电子束的作用所产生的二次电子或背向散射电子，只要能进入接收器，便会经过放大后，在TV屏幕相对的扫描位置上产生亮点。换句话说产生二次电子或背向散射电子越多，屏幕上光点越亮，讯号少，光点越暗，因此就可在屏幕上由亮暗光点完整的影像。 二次电子探测器示意图 二次电子收集系统由栅网、聚焦环和闪烁体组成。栅网上加+250V电压，用来吸引二次电子。通过调整聚焦环位置可改变闪烁体前加速电场分布，使二次电子比较集中打到加有+12kV高压的闪烁体上。 二次电子大部分信号穿过栅网，打到闪烁体上，转换成光信号，经光电倍增管输出的电流信号接到视频放大器，再稍放大后即可用来调制显像管亮度，从而获得图像。 二次电子探测器示意图 低真空二次电子探头 影像放大倍率的改变 SEM的放大倍率的决定，在于控制电子束在样品表面扫描的范围的大小，由于屏幕的尺寸固定，因此扫描范围越小，屏幕上所显现的影像相对放大率就越大。 五. 扫描电子显微镜的主要性能 分辨率 （有效放大倍数） 景深 样品室大小 低